ГОСТ Р 8.745—2011/1SO/TR 149992-2:2005
2.4.3 Пределы допусков
Иногда соотношение результатов интерференционных измерений и допустимых отклонений не очень
ясны для данного объекта измерений. В таком случае необходима полностью укомплектованная измери
тельная установка, а измерения должны быть выполнены в полном объеме.
3 Основные аспекты аппаратного обеспечения интерферометра
и соблюдения условий выполнения эксперимента
3.1 Общие сведения
Целью настоящего раздела является ознакомление пользователя интерферометром с возможными
источниками погрешностей. Известно, что два разных оператора, использующих одну и ту же аппаратуру
водной и тойже лаборатории, необязательно получат идентичные результаты измерений. Опытный пользо
ватель может получить весьма точный результат, а другой, менее опытный, — результат со значительными
погрешностями. Следует помнить о том. что хорошая сходимость получаемых результатов не может слу
жить гарантией их точности из-за влияния источников систематических погрешностей.
Важно знать эти источники, чтобы избежать погрешностей. К числу таких источников относятся,
например:
- недостаточное умение впользовании интерференционной установкой (например, искажение изобра
жения измеряемой поверхности на мониторе, воспроизводящем изображение с камеры):
- использование неподходящих зажимов для крепления объекта — чрезмерные усилия могут приве
сти к изгибу поверхности;
- влияние силы тяжести на контролируемый объект;
- вибрации измерительной установки, влияющие на результаты измерений фазы;
- некорректное применение аппроксимирующих полиномовдля данной формы апертуры (например, в
случав частичного перекрытия круглой апертуры) и сопутствующее вычитание членов в формуле погреш
ности, характеризующих ее наклон, неточность фокусировки, искусственность гипотезы об ортогональнос
ти;
- наличие стабильных слоев воздуха различной температуры в полости интерферометра, порождаю
щих астигматизм.
- неустойчивость (зеркальность) или другие подобные отклонения диаграммы погрешностей калиб
ровки по отношению к правильной ориентации, форме или увеличению измеренного поля;
- влияние разности температур между периодами калибровки прибора и выполнения измерений.
- использование объектов с неравномерным температурным распределением и обладающих замет
ным коэффициентом теплового расширения.
Здесь приведены всего несколько примеров, хотя источников типичныхсистематических погрешнос
тей значительно больше.
Путь их минимизации сводится к умелому планированию и организации эксперимента с учетом тре
буемой точности результатов,достигаемой оптическими и механическими средствами.
Поэтому рекомендуется повторить эксперимент по меньшей мере трижды и сравнить результаты; при
этом каждый раз необходимо демонтировать и затем заново собрать часть измерительной установки, а
также произвести ее юстировкуи заново настроить интерферометр.Желательнодаже повторить всю проце
дуру на следующий день и с другим оператором.
Все условия проведения измерений и отчеты должны быть задокументированы, а окончательные
результаты в упорядоченном виде занесены в память компьютера. Кроме того, все операции по обработке
данных эксперимента (например, вычитание результатов наклона или использование функций Цернике
высшего порядка, количество усреднений, операции фильтрации данных с целью их «сглаживания») также
должны быть задокументированы наряду со сведениями об установке.
Эта информация представляет собой часть результата эксперимента и при ее отсутствии результат
измерений можно считать бесполезным, не подлежащим использованию для подтверждения качества про
веденных измерений.
3.2 Принципы конструирования и влияния на качество измороний
3.2.1 Общие сведения
При измерении с помощьюинтерферометрадеформации волнового фронта обусловленной объектом,
он становится частью оптической системы прибора. Помимо соблюдения условия автоколлимации следует
4