ГОСТ Р 8.745—2011 /ISOTTR 14999-2:2005
- если угол наклона между волновыми фронтами увеличивается, расстояние между полосами умень
шается. и они сдвигаются в направлении к полосе нулевого порядка.
Возможно, интерферометр должен быть настроен так. чтобы имелся наклон, тогда разность хода
содержит воздушный клин, и можно получить практически прямые полосы.
4.2.2 Пример 1 — Интерферометр Физо
Вогнутость будет вынуждать полосы двигаться к сужению воздушного клина (рисунок 4).
а) Вид сверху
Ь) Вид сбоку
с) Интерферограмма
1 — вогнутость: 2 - выпуклость; 3 — опорная поверхност ь: 4 ■■ измеряемая поверхность. 5 ■ расстояние между
полосами при наипучшей аппроксимации интерференционной картины: Л ■■ максимальное отклонение от наипучшео
аппроксимации интерференционной картины
Рисунок4 — Смешение полос в случаях вогнутости ивыпуклости, соответственно
При вогнутой поверхности полосы у края интерференционной картины искривляются в сторону утол
щения клина, а при выпуклой — к сужению воздушного клина (рисунок 5).
1 — вогнутая сфера; 2 - выпуклая сфера; 3 — утолщенная часть клина: 4 — опорная пластина
5 — измеряемая поверхность; 6 — суженная часть клина
Рисунок 5 — Смещение полос в случае вогнутой и выпуклой поверхностей соответственно
16