ГОСТ Р 8.745—2011 /ISOTTR 14999-2:2005
Введение
Вторая часть ИСО 14999 посвящена методам оценки качества оптических элементов и систем, име
ющим отношение к производимым ими {элементами и системами) искажениям (деформациям) волнового
фронта. Эти искажения (погрешности) распределены по шкале пространственных частот, однако в этой
части ИСО 14999 рассматриваются деформации (искажения, погрешности) волнового фронта только в
низко- и среднечастотномдиапазонах спектра пространственныхчастот. Высокочастотный участокспектра
может быть измерен только с помощью микроскопа, с использованием результатов измерений рассеянно го
света или вообще неоптических способов зондирования поверхности.
Подобное рассмотрение может быть выполнено применительно к любому спектральномудиапазону
излучения, используемогодля зондирования поверхности. В ИСО 14999для наглядности рассмотрен слу
чай использования видимого излучения. В ряде случаев при измерениях шероховатости поверхности при
меняются С02-лазеры с длиной волны 10.6 мкм (после шлифования изделия) или эксимерные лазеры с
длинами волн 193 или 248 нм при контроле микролитографической оптики. Однако в стандарте они упоми
наются изредка и не детализируются. Об остальных участках оптического спектра речь в ИСО 14999 не
идет.
IV