ГОСТ Р 8.745—2011 /1SO/TR 14999-2:2005
ретического волнового фронта в интерферограмме можно обнаружить некоторые типы искажений, т. е. ис
кривление волнового фронта, нерегулярность расположения полос и нерегулярность осевой симметрии
(см. ИСО 10110-5:2007).
В идеальном случае аппроксимация должна быть выполнена методом наименьших квадратов.
Практически, по возможности, следует работать с прямыми полосами (обладающими минимальным
изгибом), что облегчит ручную обработку интерферограмм и избавит от необходимости использования ли
нейки или специального параллелограмма. Если это невозможно (например, при использовании защитных
очков), то центральную полосу следует сравнивать не с прямой линией, а с ломаной, соединяющей два
конца и центр центральной полосы.
Отклонение от идеальной картины,обозначаемое искажением илидефектом, обычно находится меж
ду соседними полосами идеальной интерферограммы (см. рисунок 9).
S »• расстояние между интерференционными полосами практически идеальной интерферограммы:
д — максимальное отклонение полосы от идеальной картниы
Рисунок 9 — Ручная обработка интерферограмм
■
Количественноотклонение оценивается отношением
MS.
Это соответствует максимальному расстоя
нию между измеряемым и опорным волновыми фронтами за вычетом минимального расстояния между
фронтами.
В том месте, где фронты пересекаются, минимальное расстояние между ними становится отрицатель
ным; при вычислении расстояния между пиком и впадиной следует учитывать знак. Если один из фронтов
отображает теоретически плосхийфронт, то расстояние «пик—впадина» именуется «деформацией типап и к-
впадина».
Искажение в единицах длины волны равно произведению
MS
и «масштабного коэффициента интер
ферограммы»:
Искажение =
(MS)
«масштабный коэффициент интерферограммы» •
Например, при оценке качества поверхности зеркала при нормальном падении света в интерферомет
рах Физо или Тваймана—Грина «масштабный коэффициентинтерферограммы» равен 1/2: расстояние меж
ду полосами = (Х/
2
).
В таблице 5 приведены значения «масштабного коэффициента интерферограммы» для некоторых оп
тических схем интерферометров.
Отклонение формы поверхности может быть описано «шагом полос интерференционной картины» —
этот термин имеет отношение не к поперечному расстоянию между полосами, а к тому, что число полос,
различаемых в интерференционной картине, соответствуетчислу полуволн, укладывающемуся вотклоне
ние формы поверхности.
О качестве распространившегося волнового фронта сквозь оптический элементсудят по деформа
ции плоского волнового фронта, дважды прошедшего сквозь оптический элемент. Этадеформация измеря
ется вдоль направления распространения, т. е. перпендикулярно плоскости волнового фронта. Единицей
измерения служит шаг полос интерференционной картины при двухкратном прохождении света, равный
длине волны.
20