ГОСТ Р 8.745—2011/ISO/TR 14999-2:2005
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
ОПТИКА И ФОТОНИКА.
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМ
Ч а с т ь
2
State system for ensuring the uniformity of measurements. Optics and photonics. Interferometric measurements
of optica! elements and systems. Part 2. Measurements and evaluation techniques
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на фундаментальные описания объектов, измеряемых с по
мощью интерферометрии, аппаратные аспекты построения различных схем интерферометров и методики
анализа интерферограмм, рекомендации по содержаниюи формам протоколов измерений и свидетельств о
калибровке (калибровочных сертификатов).
2 Объекты измерений
2.1 Поверхности
2.1.1 Зеркала: граничные поверхности оптических элементов в режиме пропускания
Главная задача интерферометрии — измерение формы поверхности. Измерения могут быть выполне
ны двумя способами — в отраженном или проходящем свете. Суть интерференционного измерения сво
дится к определению разности двух длин оптических путей
fn d
. один из которых обычно называется
опорным, адругой — измеряемым (или предметным). Результирующая волновая аберрация
AW,
обуслов
ленная сдвигом
d
при измерении в отраженном свете, равна A
W
=
2nd.
а при измерении в проходящем
свете —
AW =
(
п2
- л,)Ф
2.1.2 Коэффициент отражения
Френелевское отражение от границы, разделяющей две среды с показателями преломления л, и
п2.
описывается формулой
Для большинства марок оптических стекол значение
R
составляет от 4 % до
6
%; поэтому среднее
значение 5 % считается вполне приемлемой оценкой.
Это отражение приводит к световым потерям распространяющегося волнового фронта на каждой
граничной поверхности. Сдругой стороны, именно этот эффект отражения часто используется при измере
ниях. Для получения максимальной видности или контраста интерференционной картины оба интерфериру
ющих пучкадолжны иметь примерно одинаковую интенсивность. Изменение коэффициента отражения све
тоделителя внутри интерферометра изменяеттолько количество световой энергии в интерференционной
картине, но не влияет на отношение интенсивностей интерферирующих пучков, поскольку свет в обоих
плечах проходит сквозь и отражается светоделителем только единожды. Если оптические пути в двух
плечах интерферометра разделены (как. например, в интерферометре Маха—Цендера или Тваймана—
Грина), то возможна регулировка интенсивности пучка в каждом из плечей.
Издание официальное
Измерения и методика оценки результатов
Дата введения — 2013—03—01
(D
1