ГОСТ Р 8.745—2011/ISO/TR 14999-2:2005
- широкие возможности предоставляются при формировании оптической схемы измерительной уста
новки: особенно полезно опорную поверхность не делать последней в пропускающей «сфере», а ее плос
кий вариант располагать перед линзой; таким образом можно имитировать «наклон» в оптической схеме,
причем без возникновения нескомпенсированных погрешностей. Эта особенность важна и болеедетально
будет истолкована вдальнейшем.
3.2.5Контраст как функция интенсивности излучения в предметном и опорном плечах: спо
собы выравнивания интенсивности
Хорошо известна (см. ИСО/ТО 14999-1:2005, подраздел 3.2.1) формула для интенсивности /(х)двух
лучевой интерференции
где х — вектор, описывающий пространственные координаты либо на чувствительной площадке приемни
ка излучения, либо на измеряемой поверхности; Д/ОРО— полная (суммарная) «оптическая раз
ность хода» двух интерферирующих пучков; |у|— модуль комплексной степени когерентности:
при использовании в качестве излучателя лазера близок к единице;/,{х),/
2
(х) — интенсивности
интерферирующих волновых фронтов при их раздельном измерении.
Видность
V
полос описывается формулой
(
2
)
(3)
(4)
(5)
На рисунке 2 изображена зависимость
V=
V(n). а в таблице 1 приведены численные значения.
.
V
10
-
.
08
-
.
06
-
0.4-
0
.
2
-
Q*
I
I
I
I
I
I
I
П
Т
Т
Т
Т
Т
-]-Т"1
I
I
I
I
-Г”т~т~|—
►
0.20.40.60.81.0 п
Рисунок 2 — Зависимость (/(rj)
9