ГОСТ Р 8.745—2011/ISO/TR 14999-2:2005
Эффективность юстировки с помощью визирного перекрестья илидругого приспособления аналогич
ного назначения может быть проверена уголково-кубическим зеркалом или призмой из высококачественно
го стекла. Отраженный пучокдолжен точно попадать в центр юстировочного устройства. Таким же спосо
бом можно отъюстировать опорную поверхность перпендикулярно пучку. Наклоняя эту поверхность, доби
ваются того, чтобы полосы, образующиеся в результате интерференции опорной волны, отраженной трип-
пель-зеркалом (три поверхности под углами 90° друг кдругу), были предельно широкими.
3.2.3 Оптическая компенсация погрешностей
Полезным свойствомдвухлучевой интерференции является ее особенность, связанная с устранени
ем погрешностей, порождаемыхотдельными частями интерферометра. Если два интерферирующих пучка
претерпевают одни и те же возмущения, проходя по своим оптическим путям, то порождаемые при этом
погрешности волновых фронтов идентичны и компенсируют другдруга, что отчетливо демонстрирует раз
ность волновых фронтов. Слодовательно.два волновыхфронтадолжны распространяться почти по одному
и тому же пути, тем самым, обеспечивая «оптическую компенсацию» имеющих место погрешностей. Легче
всего этого достичь в интерферометре Физо. где предметная и опорная поверхности расположены друг
напротив друга без оптическогоэлемента между ними. Эта компенсация неявляется полной, если имеются
расхождения между оптическими длинами путей, когда один пучок наклонен по отношению к другому.
Другим источником отклонения от полной симметрии служат условия формирования изображений
обеих упомянутых поверхностей на чувствительной площадке приемника излучения. В интерферометре
Физо эти поверхности не могут быть одновременно изображены в плоскости приемника. Как правило, опор
ная поверхность больше по размерам, чем это необходимо, поэтому размеры интерферограммы зависят от
апертуры, определяемой размерами испытуемой поверхности. В этом случае, когда размеры опорной
поверхности превышают диаметр апертуры испытуемой поверхности, не возникает погрешностей первого
порядка, порождаемыхдифракцией Френеля. Тем не менее влияние остаточных погрешностей сказывает
ся. но оно столь мало, что обычно практически неразличимо. Существует другой источник погрешности
более высокого порядка при измерениях сферических поверхностей, связанный с использованием опор
ной пропускающей «сферы» Физо (образцовая линза).
На рисунке 1представлена оптическая схема.
La - - дефокусировка: Т — измеряемая поверхность: R — опорная поверхность.
Рисунок
1
— Изображения
SR
и
Sr вершин опорной (референтной)
S
r и
измеряемой Sr поверхностей
друг относительно друга
Здесь предполагается, что поверхность
R
(являющаяся последней в пропускающей «сфере») и по
верхность
Т
— обе вогнутые. Вершины этих поверхностей обозначены соответственно S
r
и
S-.
Полость
Физо считается выполненной корректно, когда эти поверхности имеют общий центр кривизны. Если образ
цовая линза рассчитана и изготовлена правильно, тоэтот центр совпадаетс фокусом
F
сферической волны,
падающей на поверхность
R.
На рисунке 1 представлен и далее рассматривается именно этотслучай. Обе
поверхности изображаются пропускающей «сферой», характеризуемой главной плоскостью
Н
=
Н
’и фо
кальными точками
F
и F, в различных сечениях на оптической оси. Размеры изображений согласованы, но
аксиальное расстояние между ними
LD
(«расфокусировка») показано на рисунке 1. Теперь положим, что
7