ГОСТ Р 8.745—2011/ISO/TR 14999-2:2005
Т а б л и ц а 5 — Масштабные коэффициенты интерферограмм
Измеряемый параметр
Схема интерферометра
Масштабный коэффициент
Отражающая поверхность
Нормальное падение, один проход
1/2
Отражающая поверхность
Угол падения = 0. один проход
1/(2 COS в)
Отражающая поверхность
Нормальное падение, двукратный
проход
1/4
Отражающая поверхность
Угол падения = 0. двукратный проход
1/(4 cos 0)
Искажение волнового фронта после
одиночного прохода света
Однократный проход
1
Искажение волнового фронта после
одиночного прохода света
Двукратный проход
1/2
Искажение волнового фронта после
двукратного прохода света
Однократный проход
2
Искажение волнового фронта после
двукратного прохода света
Двукратный проход
1
Среднеквадратичноеотклонение оценки искажения волнового фронта не может бытьопределено ви
зуально или простейшим ручным способом обработки данных.
Более полное описание методик анализа интерферограмм содержится во многих книгах (в частности.
в [5]).
4.4 Фазовые измерения с использованием временной несущей
4.4.1 Общие сведения
Основные методики аналитической оценки интерференционных картин описаны в 4.4.2—4.4.4. где
используются изменения во времени опорной фазы <р(/)для измерения фазы Ф(х,
у)
измеряемого волново го
фронта (без учета знака и многозначности фазового сдвига). Рассмотрение ограничено наиболееобщим
случаемдвухлучевой интерферометрии.
Интенсивность /(х,
у)
интерференционной картины, зарегистрированной наоднородной прямоуголь
ной сетке, описывается уравнением (ИСО/ТО14999-1:2005, подраздел 3.1.1)
А*.
У)
*
Цх-
У) •{1 ♦
V
(х. у) cos [Ф(х, у) - чЧО]},(
8
)
0
где / (х, у)— почти равномерная интенсивность фона; Цх. у)— видность (контраст) полос; Ф(х, у) — изме
ряемое распределение фазы; q#)— фаза опорного волнового фронта.
Поскольку в этом интерференционном уравнении содержится три неизвестных /0,Ц Ф. необходимы,
как минимум, три измерения интенсивности для каждой координаты (х, у), чтобы получить распределение
фазы Ф(х, у).
Предположим, что взаимная ориентация как измеряемого, так и опорного волновых фронтов такова,
что ДФ между соседними точками на сетке не превышает
я,
благодаря чему по крайней мере для каждой
полосы на приемнике излучения можно зарегистрировать (согласно теореме Найквиста) два отсчета. И
наоборот, при использовании ручных методов обработки не существуетдополнительных требований к вза
имному расположению фронтов, поскольку при количественном описании измеряемого волнового фронта
погрешности, порождаемые наклоном и дефокусировкой, взаимно компенсируются.
Временная модуляция опорной фазы осуществляется путем непрерывного или скачкообразного из
менения разности хода водном из плеч интерферометра с помощью различных устройств и способов:
-движением опорного зеркала, смонтированного на пьезоэлектрическом преобразователе (PZT);
- наклоном стеклянной пластины;
- смещениемдифракционной решетки;
- вращением поляризаторов в зависимости от поляризационной чувствительности интерферометри
ческой установки;
- акусто-оптическим модулятором.
21