ГОСТ Р 8.745—2011/ISO/TR 14999-2:2005
Содержание
1 Область применения............................................................................................................................................
1
2 Объекты измерений............................................................................................................................................. 1
2.1 Поверхности.................................................................................................................................................... 1
2.2 Оптические элементы, работающие на пропускание.......................................................................... 2
2.3 Оптические системы.................................................................................... .............................................. 3
2.4 Косвенное измерение характеристик оптических элементов............................................................ 3
3 Основные аспекты аппаратного обеспечения интерферометра и соблюдения условий выполнения
эксперимента ....................................................................................................................... ................................4
3.1 Общие сведения.............................................................................................................................................4
3.2 Принципы конструирования и влияния на качество измерений.......................................................4
3.3 Условия выполнения измерений...................................... 13
4 Способы оценки оптической разности хо д а ..................................................................................................15
4.1 Общие сведения.............................................................................................................................................15
4.2 Визуальный анализ интерферограмм..................................................................15
4.3 Ручная обработка и измерение по интерферограммам......................................................................19
4.4 Фазовые измерения с использованием временной несущ ей............................................................21
4.5 Фазовые измерения с использованием пространственной несущей.............................................25
4.6 Исключение фазовых неоднозначностей................................................................................................27
4.7 Регистрация волновых фронтов; системы координат, определение систем координат...............28
4.8 Полиномиальные и другие способы отображения волновых ф ронтов...........................................29
5 Протоколы испытаний и калибровочные сертификаты.............................................................................32
5.1 Общие сведения.............................................................................................................................................32
5.2 Содержание протоколов испытаний и калибровочных сертификатов.............................................32
5.3 Протоколы испытаний...................................................................................................................................32
5.4 Калибровочные сертификаты.....................................................................................................................32
5.5 Мнения и рекомендации................................33
5.6 Электронная передача результатов..........................................................................................................33
5.7 Формат протоколов и сертификатов.........................................................................................................33
5.8 Модернизация (уточнения,дополнения) протоколов испытаний и калибровочных сертификатов33
6
Формат данны х......................................................................................................................................................33
Приложение А (справочное) Ортогональные полиномы...............................................................................34
Приложение В (справочное) Ортогональные функции на «нетривиальных поверхностях»................. 45
Библиография............................................................................................................................................................ 47
Ш