ГОСТ Р 8.745—2011/ISO/TR 14999-2:2005
Т а б л и ц а 2 — Прогиб равномерно нагруженных круглых пластин
СлучайМатериал
Диаметр
D.
мм
Толщина
а,
мм
Прогиб, нм
LF5
120
10
48.3
SF59
120
10
108.6
А
Saphir
120
10
10,5
ВК7
120
10
27.4
ВК7
20
2.5
0.3
ВК7
60
7.5
3.0
120
15
12,2
ВК7
В
ВК7
200
25
33,9
ВК7
300
40
66,9
ВК7
400
50
135,4
ВК7
400
100
33,9
ВК7
300
55
35,4
200
25
33,9
ВК7
С
ВК7
120
9
33,9
ВК7
60
2.3
32,4
ВК7
20
0.25
33,9
4 Способы оценки оптической разности хода
4.1 Общие сведения
Существуют различные способы выполнения интерференционных контрольных измерений. Здесь
приводится обзор методов и источников систематических и случайных погрешностей, равно как и выполне
ния прецизионных измерений. Методики анализа интерферограмм делятся на две группы:
a) визуальные и ручные методики, дающие качественную информацию о форме измеряемого волно
вого фронта (поверхности) и предоставляющие простейшие характеристики (например, величину
PV):
b
) методики фазовых измерений, обеспечивающие получение полной количественной информации о
волновом фронте (поверхности).
4.2 Визуальный анализ интерферограмм
4.2.1 Общие сведения
Интерферограмма формируется при взаимодействии измеряемого волнового фронта с опорным вол
новым фронтом. Форма и ориентация волнового фронта должна быть выбрана так, чтобы получатьтиповые,
легко интерпретируемые интерферограммы (например, прямые полосы).
Сравнивая отклонения полученной интерферограммы от идеальной, можнообнаружить и классифи
цировать различные оптические аберрации волновых фронтов, равно как и типичные искажения как волно
вых фронтов, так и поверхностей. Кроме того, очень важно выделить информацию, касающуюся знака
аберрации волнового фронта, т. е. либо это искажение является пиком или впадиной, либо измеряемая
поверхность выпукла или вогнута относительно опорного волнового фронта. Эта информация о фазе не
содержится в статической интерференционной картине или интерферограмме. Для получения ее необходи
мо найти и зарегистрировать местоположение нулевого порядка интерференционной картины, т.е. то место,
где разность хода интерферирующих волновых фронтов равна нулю. Зная это место и внося определен
ным способом изменение оптической разности хода, можно предсказать знакотклонения волновогофронта
(поверхности) путем наблюдения за направлением движения интерференционных полос:
- если разность хода уменьшается, полосы движутся в направлении от местоположения нулевого
порядка (для наклонных волновых фронтов— к утолщению воздушного клина);
- если разность хода увеличивается, полосы движутся в направлении к местоположению нулевого
порядка (для наклонных волновых фронтов — к сужению воздушного клина);
15