ГОСТ Р 8.745—2011/ISO/TR 14999-2:2005
Коэффициенты ослабления, отражения и пропускания светоделителя описываютсяформулами.
а) Оптическая схема 1 « д =
Pes
Ь) Оптическая схема 2 t Ss
Рг~^РгРя
1
--УЙ
Рг-Ря 1-П ’
Г]
(Ув
при
П =
-£г и
Рг * Р*
с) Оптическая схема 3
ил м
В оптической схеме интерферометра Фиэо коэффициент отражения опорной поверхности не должен
быть больше 4 % во избежание влияния на интерферограмму многократных отражений.
В оптических схемах интерферометра Тваймана—Грина имеет место толькодвухлучевая интерфе
ренция. вто время как оптическая схема интерферометра Фиэо внутри полости может испытывать многолу
чевую интерференцию. Этим эффектом можно пренебречьпри условии, что коэффициент отражения опор
ной поверхности (так называемого «пропускающего пробного стекла») не превышает 4 %. При сверхточ
ных измерениях и использовании формулы для анализа результатов фазовых измерений необходимо при
нимать во внимание истинную форму интерференционных полос.
Плоскопараллельная пластина ослабителя воптических схемах (рисунок 3)должна быть изготовлена
из плавленого кварца или стекла ВК7 с хорошим поглощающим покрытием. Из рисунка 3 следует, что
ослабитель А является встроенной частью полости и влияние ее (двойное прохождение) на
прошедший сквозь нее волновой фронт будет сказываться на результате измерений, порождая
погрешности вдополне ние к тем. что присущи измеряемой поверхности. Если возможно провести
измерение с пустой «полос тью». толегкоопределить влияние ослабителя на измеряемый волновой фронт
и тем самым математически скорректировать получаемый результат.
3.2.6 Зависимость контраста от источника излучения
3.2.6.1 Общие сведения
В обобщенном виде интерферометр можно считать состоящим из.
- источника излучения;
- коллиматора;
- интерференционной части;
- фокусирующей оптической системы;
- приемника оптического излучения.
Свет, излучаемый источником, предназначен для формирования интерферограмм, а приемник— для
сбора информации, т. е. их записи.
Контраст интерферограммы зависит от следующих параметров.
a) области спектра;
b
) степени когерентности излучения;
c) поляризации света.
Источник излучения выбирается в соответствии с назначением прибора.
3.2.6.2 Область спектра
3.2.6.2.1 Излучатель и приемник
Пользователь обязан согласовать спектральный диапазон источника излучения со спектральной
чувствительностью приемника, причем первый из них должен быть близок к максимуму второго.
П р и м е ч а н и е — При визуальном наблюдении интерферограммы наиболее подходящими источниками
считаются источник зеленого (ртутная лампа с фильтром) или желтого (натриевая спектральная лампа, которая
обеспечивает близкую к нулю оптическую разность хода) света (оба соответствуют максимуму чувствительности
глаза): для операторов с признаками дальтонизма не рекомендуется использовать лазерный диод с излучением
красного цвета.
11