ГОСТ Р 8.745—2011 /ISOTTR 14999-2:2005
Т аб ли ц а 1— Интенсивности /, и /2, их отношение т). видность
V
и число потерянных битов информации, когда
интенсивности при двухлучевой интерференции неодинаковы
/,
ч
VЫ1
Л
V
ЬЧ
1 1 1.000
2 1
0.500
5
1 0,200
10 1 0.100
20 1
0,050
25
1
0.040
50
1 0,020
100 1 0,010
200 1
0.005
400
1
0,003
1.000.001
0.940.08
1
0.750,42
1
0,570.80
1
0.431.23
1
0.381.38
1
0.281.85
1
0.20
2.34
1
0.142.83
1
0,10
3.33
1
1.001.0001.000.00
0,900.900
1.000,00
0.800.8000.99
0,01
0.500.5000.940.08
0,10 0,100
0.57 0.80
0.06 0.060 0.46
1.11
0.04 0.040 0.38 1.38
0.03 0.030 0.34 1.57
0.02 0,020
0.28 1.85
0.010.0100.20
2.34
2
Из таблицы 1 следует, что видность уменьшается до 38 % оптимального значения, когда интенсив
ности различаются в 25 раз. т. о., например, когда обладающая высоким коэффициентом отражения изме
ряемая поверхность расположена напротив непокрытой опорной Физо-пластины. В случае, когда оценка
распределения фазы выполнена средствами фазовых измерений, а интенсивности определены ПЗС-каме-
рой. это эквивалентнодеградации контраста на 1,38 бита.
Если камера в составе интерферометра
8
-разрядная, что имеет место в большинстве систем, это
может привести к неприемлемой потере точности измерений, вто время как применение
10
- и
12
-разрядных
камер не приводит к потере точности. Влюбом случае этот эффект может быть компенсирован увеличени ем
числа измерений с усреднением получаемых результатов, т. е.
N
(число измерений) = W
2
= (1 + n) /4q, что
вданном примере означает примерно семь измерений.
Если эти меры не помогают, то необходимо выровнять интенсивности двух пучков, например, путем
уменьшения коэффициента отражения поверхности сбольшим коэффициентом отражения. Возможные спо
собы достижения этого выравнивания обсуждаются далеедля двух вариантов оптической схемы интерфе
рометра Тваймана—Грина и для одного варианта интерферометра Фиэо. В схемах Тваймана—Грина пред
полагается. что светоделитель
BS
необладает поглощением и что измеряемая
Т
и опорная
R
поверхности
имеют коэффициенты отражения соответственно
рт
и pR.Коэффициент поглощения ослабителя обозна
чен
ад,
a q =рл /рг . Все три конфигурации представлены на рисунке 3.
а) Оптическая схема 1
Ь)Оптическая схема2
—нн
с) Оптическая схема3
10
Рисунок 3 — Оптические схемы с неодинаковыми коэффициентами
отражения измеряемой
Т
и референтной (опорной)
R
поверхностей