ГОСТ Р 8.745—2011 /ISOTTR 14999-2:2005
3.2.6.2.2 Факторы, влияющие на пропускание и отражение излучения
Свет проходит через коллиматор, интерференционную часть и фокусирующую оптическую систему,
которые расположены между излучателем и приемником. При этом он отражается или проходит через
оптические элементы схемы, что может привести к изменению исходного спектрального состава излуче
ния.
П р и м е ч а н и е — Например, позолоченное зеркало имеет слабый коэффициент отражения в сине-
зеленой области спектра, отражательная способность увеличивается в желтой его части и особенно высока в
красном и инфракрасном диапазонах длин волн. При покрытии серебром пик отражения приходится на желтый
участок спектра, а при алюминиевом покрытии все видимое излучение отражается очень слабо.
Следовательно, выбору излучателя должно быть уделено особое внимание.
3.2.6.2.3 Требования контроля
Если исследуемый объект предназначен для использования наопределенной длине волны, пользо
ватель ограничен в выборе излучателя и приемника и должен использовать этудлину волны. В некоторых
случаях возможны измерения на другой длине волны, но это должно быть отражено в протоколе измере
ний.
3.2.6.3 Временная когерентность
3.2.6.3.1 Прагматический подход
Пучокизлучения следует рассматривать как последовательность (цуг) световых волн. Длительность
цуга эквивалентна длине когерентности. Цуг распространяется от излучателя к приемнику. Достигая свето
делителя, цугделится на два цуга, один из которых проходит через опорное, а другой — через
предметное плечи интерферометрической части. Пройдя каждый по своему оптическому пути, оба цуга
достигают опти ческого элемента, используемого для реконструкции волнового цуга (в качестве такового
иногда применя ют светоделитель). Эти два цуга при равных оптическихдлинах путей обоих плечей
полностью перекрыва ются: в случае различия длин один из цугов задерживается по отношению
кдругому.
Интерференционный контраст максимален при равныхдлинах плеч и убывает по мере увеличения их
разности.
П р и м е ч а н и е — Контраст при использовании в качестве излучателя гелий-неонового лазера
уменьшается при разности оптических длин порядка нескольких сантиметров (длина когерентности обычно счи
тается равной или близкой к длине лазера).
Контраст, наблюдаемый при использовании недорогого лазерного диода, весьма незначителен при
разности хода в несколько сантиметров и периодически меняется. Это объясняется многолучевой эмис
сией лазерногодиода.
Контраст, наблюдаемый всвете натриевой спектральной лампы, осциллирует по мере изменения раз
ности хода; период осцилляций соответствует разности хода
0.6
мм, что вызвано наличием натриевого
дублета.
Контраст, наблюдаемый в сеете ртутной спектральной лампы низкого давления, стремится к нулю,
когда разность хода приближается к
1
см.
Когерентность излучения ртутной спектральной лампы высокогодавления уменьшается достаточно
быстро по мере возрастания температуры лампы и спадает почти мгновенно до уровня менее 1мм. Тем не
менее можно увеличитьдлину когерентности с помощью реостата в цепи источника ее питания, охлаждая
лампу в процессе работы.
3.2.6.3.2 Влияние поверхности объекта
Пользовательдолжен ответить на вопрос: «Соответствует ли когерентность излучения источника ше
роховатости поверхности объекта?» При измерении дефектов поверхности этот вопрос, как правило, не
возникает, поскольку характерный размер шероховатости (вершина — впадина) не превышает обычно не
скольких микрометров. С другой стороны, важно согласовать форму волнового фронта с поверхностью
объекта. Это означает, что пользовательдолжен адаптировать форму волнового фронта кформе объекта
путем изменения разности хода вточках, меньших, чем длина когерентности источника.
П р и м е ч а н и е — Например, наилучший способ измерения качества асферической поверхности заклю
чается в том. чтобы придать волновому фронту радиус почти идеальной сферы, минимизирующей при своем
падении на объект расстояния до его поверхности.
3.2.6.3.3 Влияние толщины объекта
При прохождении предметного пучка сквозь измеряемый объект имеют место два эффекта.
12