ГОСТ Р 8.745—2011 /ISOTTR 14999-2:2005
Основная трудность возникает в интерферометреФиэо. Если опорная поверхностьобладает высоким
коэффициентом отражения, то врезультате возникает многолучевая интерференция с узкими интерферен
ционными полосами, как в интерферометре Фабри—Перо (ИФП). В случае необходимости получения сину
соидальных интерференционных полос (например, при измерениях методом интерферометрии фазового
сдвига) опорная поверхность должна обладать низким коэффициентом отражения, а между опорной и из
меряемой поверхностями необходимо ввести нейтральный светофильтр, не искажающий волновое поле.
2.1.3 Шероховатость
Для выполнения интерференционных измерений шероховатость поверхности недолжна превышать
определенного порога, составляющего частьдлины волны, а в случае измерения в режиме пропускания —
разности показателей преломления граничащих сред.
2.1.4 Топология участков волнового фронта
При разрывах поверхности волнового фронта в процессе интерференционных измерений программ
ное обеспечение, обрабатывающее интерферограммы, можетдаватьошибки. Они значительно возрастают
при анализе статической интерферограммы, поскольку результат сильно зависит от точности определения
местоположения соседних точек при установлении факта непрерывности и топологии интерференционных
полос (методскелетизации). При этом измерения методом фазового сдвига могут бытьстоль же неэффек
тивны, как и поточечная обработка и оценка волновых аберраций. Подобные же трудности могут возникнуть
в случае сложного рельефа поверхности.
2.1.5 Непрерывность поверхности и ее градиент
Если изменение фазы волнового фронта превышает л. то результат измерения определяется с
точностью ±
п 2г.
поэтому невозможно однозначно измерить произвольную форму поверхности. Получае
мый результат измерений обычно корректен, если волновая аберрация междудвумя пространственно раз
решимыми точками <
г.
Градиентом измеряемой поверхности относительно опорной поверхности считается градиент изме
ренной волновой аберрации, обусловливающий увеличение пространственной плотности или близостьвза
имного расположения интерференционных полос. Интерферограмма может быть использованадля расче
тов, если расстояние между полосами меньше удвоенного расстояния между пространственно разрешае
мыми точками. Если это условие не может быть выполнено путем юстировки или настройки измерительной
установки, то вряде случаев потребуется использование компенсирующих оптических элементов. Затруд
нения, вызванные неоднозначностью получаемых результатов, могут быть устранены методами многовол
новой интерферометрии.
2.1.6 Жесткость зеркал, расчеты характеристик элементов ограниченных размеров
Во время проведения измерений крепление оптического элемента (например, зеркала) должно быть
не жестче, чем при нормальной его эксплуатации. Иногда бывает трудно заметить деформацию оптическо
го элемента в процессе измерений. Для выявления нежелательного влияния крепления следует провести
контрольные измерения с использованием двух различных способов фиксации.
При возникновении любых сомнений рекомендуется проводить расчеты характеристик элементов ог
раниченных размеров.
2.1.7 Температурная однородность поверхности зеркал
В процессе выполнения измерений объект должен иметь равномерно распределенную температуру.
Неоднородность температуры может привести кдеформациям по причине высокого коэффициента темпе
ратурного расширения материалов и весьма малой их теплопроводности. Термостабилизация наступает в
течение временного интервала от нескольких минут до нескольких часов.
2.1.8 Примеры объектов измерений
Объектами интерферометрии могут служить оптические пластины, окна, необработанные стекла, вы
пуклые и вогнутые зеркала, линзы, призмы и оптические системы.
2.2 Оптические элементы, работающие на пропускание
2.2.1 Одно- или двухпроходная интерферометрия
Измерения характеристикоптических элементов, работающих на пропускание, в зависимости от при
меняемой измерительной установки могут выполняться при одном или двух проходах светового пучка.
Двухпроходный вариант приводит к удвоению чувствительности, но при этом может сказаться влияние
отраженного света. Кроме того, отраженный пучок может не попасть в тот же участок поверхности оптичес
кого элемента, что и при первом проходе излучения.
2