ГОСТ Р41.49— 2003
ляющий воздух до температуры, превышающей 303 К (30 "С). Однако температура разбавляющего воздуха не
должна превышать 325 К (52 “С) перед поступлением отработавших газов в разбавляющий туннель.
Система частичного разбавления потока предназначается для разделения потока отработавших газов на
две части, из которых меньшая разбавляется воздухом и. соответственно, используется для определения вред
ных частиц. В этом случае существенно, чтобы коэффициент разбавления был определен с большой точностью.
Могут быть использованы различные способы разделения потока, и, тем самым, от способа разделения в значи
тельной степени зависят состав оборудования для отбора гроб и применяемые процедуры (см. 2.2 дополнения 6
к приложению Д). Пробоотборник для вредных частиц должен быть установлен в непосредственной близости от
пробоотборника для выбросов вредных газообразных веществ, и его установка должна соответствовать требова
ниям 3.4.1 настоящего дополнения.
Для определения массы вредных частиц необходимо наличие системы отбора проб вредных частиц, филь
тров для осаждения вредных частиц, весов с погрешностью не более 10-® г. камерыдля взвешивания с контролем
влажности и температуры. Отбор проб вредных частиц должен быть проведен методом с неэаменяемыми
фильт рами. т.е. при использовании одной пары фильтров для всего испытательного цикла (см. 4.1.3
настоящего допол нения). В испытании ESC следует уделять повышенное внимание периодам времени, в
течение которых проводят отбор образцов, и расходам по потоку в этой фазе испытания.
4.1 Фильтры для осаждения вредных частиц
4.1.1 Требования к фильтрам
Необходимо использовать фильтры из стекловолокна с фторуглеродным покрытием или фильтры мембран
ного типа на фторуглеродной основе. Фильтры всех типов должны иметь коэффициент улавливания частиц диок-
тилфталата диаметром 0.3 мкм не менее 95 % при скорости протекания газа через фильтр от 35 до 80 см/с.
4.1.2 Размеры фильтров
Фильтры для вредных частиц должны иметь диаметр не менее 47 мм (диаметр пятна осаждаемых частиц
37 мм). Допускается использование фильтров большего диаметра (см. 4.1.5 настоящего дополнения).
4.1.3 Основной и вспомогательный фильтры
Пробы отбирают из отработавших газов, проходящих через пару фильтров (основной и вспомогательный),
расположенных последовательно, в процессе последовательного выполнения фаз испытания. Вспомогательный
фильтр должен быть расположен ниже по потоку на расстоянии не более 100 ммот основного и не иметь контакта с
ним. Фильтры допускается взвешивать по отдельности или в паре. В последнем случае пятна осаждаемых час тиц
должны быть обращены одно кдругому.
4.1.4 Необходимо поддерживать скорость прохождения газа через фильтр от 35 до 80 м/с. Падение давле
ния в период от начала до окончания испытания не должно превышать 25 кПа.
Рекомендуемая минимальная нагрузка на фильтр — 0.5 мг/1075 мм2 площади пятна осаждаемых частиц.
Для фильтров наиболее распространенных размеров рекомендуемые нагрузки приведены в таблице Д.5.
Т а б л и ц а Д.5 — Рекомендуемые нагрузки на фильтр
Диам етр ф и ль тр а , мм
Рекомендуемый диам етр пятна
осаждаемых частиц, мм
Рекомендуемая м инимальная
нагрузка, мг
4 7
3 7
0 .5
70
6 0
1 ,3
9 0
8 0
2 .3
110
100
3 .6
4.2 Требования к камере для взвешивания и аналитическим весам
4.2.1 Условия в камере для взвешивания
Температура в камере (или в комнате), где фильтры для осаждения частиц доводят до соответствующей
кондиции и взвешивают, должна быть 295 К ± 3 К (22 "С ± 3 ”С) в течение всего времени выдерживания и взвеши
вания фильтра. Влажность следует поддерживать в диапазоне точки росы 282.5 К ± 3 К (9.5 ’С ± 3 "С) и относи
тельную влажность — в диапазоне 48 % ± 8 %.
4.2.2 Взвешивание эталонных фильтров
Пространство камеры (комнаты) не должно содержать никаких взвешенных частиц (таких, как пыль), кото
рые могут осаждаться на фильтрах в процессе их выдерживания. Отклонения от условий, поддерживаемых в
камере для взвешивания в соответствии с 4.2.1 настоящего дополнения, допускаются, если длительность этих
отклонений не превышает 30 мин. Камера для взвешивания должна быть приведена в соответствие с предъявля
емыми требованиями до того, как персонал войдет в камеру. Не менее двух ранее не использованных эталонных
фильтров или пар эталонных фильтров должно быть взвешено в период времени, не превышающий 4 ч до взвеши
вания фильтров (пар фильтров), предназначенных для отбора проб. При этом предпочтительнее все взвешивания
проводить одновременно. Эталонные фильтры (пары фильтров) должны быть изготовлены из того же материала,
что и фильтры (пары фильтров), предназначенные для отбора проб, и иметь те же размеры.
86