ГОСТ ISO/TS 80004-8—2016
Содержание
1 Область применения..............................................................................................1
2 Термины и определения понятий, установленные
в друтих стандартах серии ISO/TS 80004............1
3 Термины и определения основных понятий, относящихся
к процессам нанотехнологического производства.............................................................................................3
4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам направленной сборки............................4
5 Термины и определения понятий, относящихся к процессам самосборки...............................................4
6 Термины и определения понятий, относящихся к процессам
синтеза наноматериалов.......................................................................................................................................5
6.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам физического осаждения
из газовой фазы.................................................................................................................................................5
6.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам химического осаждения
из газовой фазы.................................................................................................................................................6
6.3 Термины и определения понятий, относящихся к физическим методам синтеза
в жидкой фазе.....................................................................................................................................................7
6.4 Термины и определения понятий, относящихся к химическим методам синтеза
в жидкой фазе.....................................................................................................................................................7
6.5 Термины и определения понятий, относящихся к физическим методам синтеза
в твердой фазе...................................................................................................................................................8
6.6 Термины и определения понятий, относящихся к химическим методам синтеза
в твердой фазе................................................................................................................................................. 10
7 Термины и определения понятий, относящихся к процессам
изготовления продукции.......................................................................................................................................10
7.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам литографии
в нанодиапазоне............................................................................................................................................... 10
7.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам осаждения........................................13
7.3 Термины и определения понятий, относящихся к процессам травления........................................15
7.4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам печати
и нанесения покрытий.....................................................................................................................................18
Приложение А (справочное) Классификация процессов синтеза в зависимости
от применения исходных наноматериалов или нанообъектов.
применяемых для производства конечной продукции.........................................................19
Алфавитный указатель терминов на русском языке......................................................................................22
Алфавитный указатель эквивалентов терминов на английском языке.......................................................27
Библиография....................................................................................................................................................... 32
IV