ГОСТ ISO/TS 80004-8—2016
5.2 графоэпитаксия (нанотехнологии): Процесс направленной самосборки (3.5) graphioepitaxy
на поверхности объектов, имеющей неоднородности, размеры которых находятся
в нанодиалазоне (2.7).
П р и м е ч а н и е — К понятию «графозпитаксия» относят процессы последовательного формирования пленок
с одинаковой или отличной структурой на поверхности одной и той же кристаллической подложки.
5.3 ионно-лучевое модифицирование поверхности (нанотехнологии): Процесс ion beam surface
reconstruction
изменения поверхности объекта пучком ускоренных ионов с целью формирования
на ней неоднородностей, в том числе размерами в нанодиалазоне (2.7).
5.4 формирование пленки Ленгмюра — Блоджетт. Процесс получения моле-
кулярного монослоя на границе раздела двух сред (газовой и жидкой) с помощью
специальной кюветы, разработанный Ирвингом Ленгмюром и Катариной Блоджетт,
Langmuir —
Blodgett
film formation
Langmuir —
Blodgett
film transfer
5.5 перенос пленки Ленгмюра — Блоджетт. Процесс перемещения молекуляр-
ного монослоя, сформированного на границе раздела двух сред (газовой и жид-
кой), на твердую поверхность путем погружения в жидкость с данным монослоем и
последующего извлечения из нее твердой подложки.
5.6 послойное электростатическое осаждение: Процесс последовательного на- layer-by-layer
несения на поверхность подложки слоев полимерных материалов с лротивополож- deposition;
ными знаками электрических зарядов.LbL deposition
5.7 модулированное осаждение веществ: Процесс формирования чередующих-modulated
ся слоев двух или более веществ путем последовательного осаждения из газовой elemental
фазы каждого из исходных веществ на заданных участках подложки.reacted method
ного слоя вещества, осаждаемого на твердую подложку из жидкой или газовой
фазы под воздействием сил молекулярного сцепления с поверхностью подложки и
сил слабого межмолекулярного взаимодействия.
5.8 самосборка монослоя. Процесс формирования упорядоченного молекуляр self-assembled
monolayer
formation;
SAM formation
5.9 механизм роста плонки Странского — Крастанова. механизм «послойного-
плюс-островкового» роста пленки: Процесс формирования пленки на подложке,
Stranski —
Krastanow
начинающийся с образования двухмерного слоя и завершающийся образованием growth
на нем групп связанных между собой атомов (островков).
6 Термины и определения понятий, относящихся к процессам
синтеза наноматериалов
6.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам физического осаждения
из газовой фазы
cold gas dynamic
spraying
6.1.1 холодное газодинамическое напыление: Процесс получения покрытия из
холодных и ускоренных частиц или наночастиц напыляемого порошка, при соуда-
рении которых с подложкой происходит их соединение, с применением сверхзву
ковой струи инертного газа.
6.1.2 электронно-лучевое испарение: Процесс получения материала путем пре- electron-beam
образования исходного материала в газообразное состояние под воздействием evaporation
потока электронов в условиях высокого или сверхвысокого вакуума и последую
щего осаждения материала на подложку.
6.1.3Термины и определения понятий, относящихся к процессам электроискрового осаж
дения
electro-spark
deposition
6.1.3.1 электроискровое осаждение: Процесс получения покрытий импульсно-
дуговой микросваркой, основанный на изменении физико-химических свойств по-
верхности под воздействием импульсных искровых разрядов, сопровождаемых
отделением от обрабатывающего электрода вещества и переходом его на обраба
тываемую поверхность (катод).
5