ГОСТ ISO/TS 80004-8—2016
6.5.13.2
nanoparticle
sintering
спекание наночастиц: Процесс соединения наиочастиц путем термической обра-
ботки исходного материала, в процессе которой происходит активизация взаимо-
действия наночастиц вследствие движения атомов внутри и между наночастицами.
[ISO 836:2001, определение термина приведено из статьи 120]
spark plasma
sintering
6.5.13.3 электроимпульсное плазменное спекание: Процесс уплотнения no-
рошка проводникового или полупроводникового материала, помещенного в пресс-
форму под воздействием давления, нагреванием со скоростью до 1000 К/мин
путем пропускания через него импульса постоянного тока и последующим охлаж
дением со скоростью до 1000 К/мин. без изменения размеров зерен.
6.6 Термины и определения понятий, относящихся к химическим методам синтеза
в твердой фазе
block copolymer
chemical
derivatization
6.6.1 прививочная блок-сополимеризация: дериватизация блок-сополимеров:
Процесс модификации твердого блок-сополимерного материала путем добавле-
ния соответствующего вещества, атомы или молекулы которого взаимодействуют
только с одной фазой модифицируемого материала.
electrochemical
anodization
6.6.2 анодноо окисленио металла (нанотехнологии): Процесс получения неме-
таллического неорганического покрытия на металлической подложке (аноде) элек-
трохимическим способом с контролем образования нанопор.
П р и м е ч а н и е — Термин «анодное окисление металла* является синонимом термина «анодное травление».
intercalation
6.6.3 интеркалирование: Процесс обратимого встраивания атомов или молекул
одного вещества в кристаллическую структуру другого вещества.
two-phase
methods
6.6.4 синтез двухфазных нанокомпозиционных материалов: Процесс получе-
ния нанокомпозиционного материала, состоящего из двух разделенных фаз. путем
нагревания и быстрого охлаждения до заданных температур исходной смеси из
двух компонентов.
7 Термины и определения понятий, относящихся к процессам
изготовления продукции
7.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам литографии
в нанодиапазоно
3D lithography
7.1.1 трехмерная литография: ЗО-литография: Процесс формирования структу-
ры объекта, линейные размеры которой или ее составных частей по одному, двум
или трем измерениям могут находиться в нанодиапазоне (2.7), путем воспроизве
дения заданного шаблона на подложке.
7.1.2 аддитивная печать: Процесс формирования рельефного изображения по-
слойным нанесением материала на подложку в соответствии сзаданным шаблоном,
additive proces-
sing
П ри м е ча н и е — В случае применения резиста в качестве шаблона различают два вида аддитивной печати:
обратная литография и аддитивная печатьс применением трафарета. В процессе обратной литографии на резист
наносят спой материала, из которого необходимо сформировать рисунок, а затем удаляют резист таким образом,
чтобы нанесенный материал остался в отверстиях, не защищенных резистом, а материал, попавший на резист,
убирается вместе с ним. В процессе аддитивной печати с применением шаблона материал только добавляют в
отверстия, не защищенные резистом [допускается применять совместно с процессом электроосаждения (7.2.7)].
block copolymer
lithography
7.1.3 блок-сополимерная литография: Процессформирования рельефного изобра-
жения из наночастиц материала, оставшихся на подложке после удаления полимер-
мого шаблона, полученного за счет микрофазного расслоения диблок-сополимеров.
10