ГОСТ ISO/TS 80004-8—2016
Приложение А
(справочное)
Классификация процессов синтеза в зависимости от применения
исходных наноматериалов или нанообъектов,
применяемых для производства конечной продукции
Группа
процессов
Подгруппа
процессов
Процесс
Процесс
с примене
нием нано-
объектов
Процесс на-
^ с тр у кту
рирования
материала
Физическое осаж
дение из газовой
фазы
Холодное газодинамическое напыле
ние
ч
Электронно-лучевое испарение
V
Электроискровое
осаждение
Электроискровое осаждение
Ч
Термическое разложение инфракрас
ным излучением
V
Плазменное распыление жидкого
вещества
V
Напыление
ч
Высушивание ве
щества
Сублимационная сушка
V
Высушивание ве
щества
Распылительная сушка
V
Быстрое расширение сверхкритиче
ских растворов
V
Суспензионное термическое напыле
ние
V
Электрический взрыв проволоки
V
Испарение
м
Химическое осаж-
дение из газовой
фазы
Атомно-слоевое осаждение (АСО)
ч
Химическое осаждение из газовой
фазы (ХОГФ)
V
ч
Каталитическое химическое осажде
ние из газовой фазы (КХОГФ)
V
ч
Осаждение в усло
виях воздействия
пламени
Экзотермическое разложение жидкого
вещества
V
V
Осаждение в усло
виях воздействия
пламени
Плазменное распыление
м
Осаждение в усло
виях воздействия
пламени
Пиролиз аэрозоля
V
ч’
19