ГОСТ ISO/TS 80004-8—2016
6.1.4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам высушивания вещества
freeze drying
6.1.4.1 сублимационная сушка: Процесс обезвоживания вещества или удаления
из него растворителя путем быстрого замораживания вещества и дальнейшего вы
паривания затвердевших воды или растворителя в условиях вакуума.
6.1.4.2 распылительная сушка: Процесс получения сухого порошка из жидкости
или суспензии, основанный на впрыскивании капель жидкости или суспензии в по
ток нагретого до необходимой температуры газа и последующем осаждении твер
дых частиц.
spray drying
6.1.5 быстрое расширение сверхкритических растворов Процесс извлечения
вещества, основанный на распылении исходного вещества при температуре идав
лении выше критических точек и последующем осаждении нанообъектов (2.5).
supercritical
expansron
6.1.6 суспензионное термическое напыление: Процесс получения покрытия
термическим напылением (7.2.16). в котором в качестве исходного материала при
меняют суспензию.
suspension
combustion
thermal spray
6.1.7 электричоский взрыв проволоки: Процесс получения наночастиц (2.6) пу
тем испарения исходного полупроводникового или проводникового материала в
виде проволоки под действием импульса электрического тока высокой плотности с
последующей конденсацией наночастиц.
wire electric
explosion
6.1.8 испарение: Процесс перехода вещества из твердой или жидкой фазы в газо
вую или плазменную фазы.
vaporization
П ри м ечания
1 Процесс испарения применяют для осаждения материала на подложху. Процесс испарения лежит в основе
процессов физического осаждения из газовой фазы (ФОГФ) [7].
2 Процессы ФОГФ в условиях высокого вакуума происходят при давлении в диапазоне от 1СГ6 до 10’9 торр. в
условиях сверхвысокого вакуума — при давлении ниже 10 9торр.
6.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам химического осаждения
из газовой фазы
6.2.1Термины и определения понятий, относящихся к процессам осаждония в условиях
воздействия пламени
6
.
2
.
1.1
экзотермическое разложение жидкого вещества: Процесс получения твердо го
агрегированного материала, в том числе наноматериала (2.4). осаждаемого на
подложку в результате экзотермической реакции окисления раствора исходного
материала.
(ISO 19353, статья 3.3. определение термина изменено]
liquid precursor
combustion
6.2.1.2 плазменное распыление: Процесс получения твердого агрегированного
материала, в том числе наноматериала (2.4), осаждаемого на подложку, с приме
нением плазменной струи, образованной источником ионизированного газа.
plasma spray
6.2.1.3 пиролиз аэрозоля. Процесс получения твердого агрегированного мате
риала. в том числе наноматериала (2.4). осаждаемого на подложку в результате
сжигания или нагревания до заданной температуры распыляемого исходного ма
териала в виде аэрозоля.
pyrogenesis
6.2.1.4 плазменное распыление жидкого вещества: Процесс получения твер
дого агрегированного материала, в том числе наноматериала (2.4). осаждае
мого на подложку в результате воздействия струи термической (равновесной)
плазмы на распыляемый раствор исходного материала и его последующего ох
лаждения.
solution precursor
plasma spray
6