ГОСТ 32600—2013
1 —
к
уплотнению; 2 — от подачи газа
CV —
обратный клапан.
FE
—расходомер.
FIL
— коалесцирующий фильтр;
F
О -
выпускное отверстие потока 1.5 мм (0,062 дюйма), если необходимо;
FSH
-- верхнее положение выключателя потока;
PI
-■
манометр;
PR
—регулятор давления;
PSL
—нижнее положение мембранного переключателя.
V —
отсечной клапан
На рисунке приведен общий вид узлов панели подачи газа. Фактическое расположение узлов может отли
чаться. но все необходимые узлы и определенная последовательность потока указана выше.
J Если согласовано.
Рисунок Ж.31 — Стандартная внешняя панель подачи барьерного газа
171