ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
элБпвртонге
В)Интарффгрмм
1 — погрешность поверхности S(г. 0): 2 — идеальная поверхность; 3 — линза; 4 — плоская волна на выходе интерферометра
Рисунок 1 — Оптическая схема интерференционного эксперимента
по контролю выпуклой отражающей поверхности
Иг = T
r
+TNR +PR* РцК;
(3)
w2 =TR +TNR +PR +PftR
и т. Д.
После усреднения полученных результатов с целью исключения (или. по крайней мере, значи
тельного уменьшения) невращательно-симматричных составляющих (за исключением имеющих поря
док к N ■0) получаем.
WA - TR + THR
+
PR
+ в5я*-<4>
Таким образом.
^ - W A =PNR- P ^ ,
(5)
что подлежит вычитанию из любого значения 1У, и позволяет выявить невращательно-симметричиую
составляющую, за исключением той. которая имеет порядок к N ■0.
Если данные однократных измерений повторяются перед усреднением, то
’
r
+ ’
n r
"в
Т +T*W0
P R + PNR
(
6
>
И
W ,-W
b
=T
n r
-T № ,(7)
что и является невращательно-симметричной составляющей суммарной погрешности интерферометра
за исключением той. которая имеет порядок к - N в.
4.3Измерительная аппаратура
Для выполнения описываемых далее измерений и контроля необходимы:
4.3.1 Цифровой интерферометр.
4.3.2 Аттестованная измерительная установка для проведения контроля.
4.3.3 Механизм вращения контролируемого образца.
4.3.4 Программное обеспечение, позволяющее усреднять и дифференцировать результаты из
мерений формы волнового фронта.
4