ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
Вчетвертой комбинации АВ> плоскость В повернута относительноее положенияв первом сочетании АВ на
угол Ф. Системы координат всех трех поверхностей ориентированы так. что в первых трех основных сочетаниях
азимуты v = 0 обеих плоскостей совпадают (совпадение при v= 0) В четвертом сочетании (повернутом) азимуты
v =Ф/2совпадают (совпадение приv= 1).
Рисунок 24 — Четыре комбинации поверхностей (вид сверху)
Анализ результирующей интерференционной картины (в соответствии с рисунком 22) позволяет
определить искомые отклонения от плоскостности при использовании следующих уравнений:
для АВх + у - D - d = а ;
(11)
для ВС
У ,* 2-V = bV
(12)
для СА
zv+ x_v = cv;
(13)
для АВ>
*v + y2-v = av
(14)
Каждое из этих уравнений является исходным для 2N уравнений с v = - N * 1; - N + 2;... N.
Эти уравнения справедливы и могут быть раздельно решены.
х. — отклонение от плоскостности поверхности А при азимуте v = \-Ф/2 и. соответственно, yv— то
же для поверхности В. zv — то же для поверхности С. Dv (вначале неизвестное) является расстоянием
между идеальными опорными плоскостями.
Оптимальная разрешающая способность по глубине и увеличенная поперечная разрешающая
способность обеспечиваются применением метода наименьших квадратов для минимизации случай
ных погрешностей измерений. Средняя квадратическая погрешность измерения отклонения от пло
скостности является функцией средней квадратической погрешности результата измерения, требуемо го
поперечного разрешения и положения поверхности.
В компьютеризованных интерферометрах обычно используются квадратные матричные при
емники излучения с центрами отдельных пикселей в вершинах квадратной сетки с известным шагом,
поэтому расстояния между неизвестными плоскостями определяются путем прямых измерений (рас
стояния dr на рисунке 23). Переход от системы координат, связанной с плоскостями, к системе коор
динат матричного приемника достигается калибровкой и применением локального интерполяционного
метода.
23