ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
1 — лазер. 2 — опорное зеркало; 3 — светоделитель. 4 — отрицательная линза; 5 — пространственный фильтр б — асфериче
ская поверхность; 7 — плоскость интерференции; 8 — формирователь изображения; 9 — компьютерная голограмма
Рисунок 11 — Компьютерная голограмма в роли компенсатора при контроле асферической поверхности
Преимущества обеих оптических схем заключены в том, что оптические элементы интерферо
метра пропускают почти плоские волновые фронты, тем самым минимизируются систематические по
грешности. В случае строгой симметрии интерферометра другой сопряженный волновой фронт может
быть использован путем размещения компьютерной голограммы в опорном плече (рисунок 12). Вспо
могательная линза формирует волновой фронт со сферической кривизной. Компьютерная голограмма
лишь создает отклонения от асферичности.
> -- лазер. 2 — конденсор; 3 — вспомогательная линза; 4 — светоделитель. S — асферическая поверхность; б — плоскость
интерференции. 7 — диафрагма. 8 - формирователь изображения: 9 — компьютерная голограмма
Рисунок 12 — Интерферометр Майкельсона со вспомогательной линзой и компьютерной голограммой
В случаях, когда отклонения асферической поверхности незначительны и систематические по
грешности остаются в допустимых пределах, компьютерная голограмма может быть помещена вне
интерферометра. Результирующая интерферограмма может быть интерпретирована как муаровые по
лосы между компьютерной голограммой и интерференционной картиной в ее плоскости. При исполь-
14