ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
стот входящая в интерферометр волна деформируется таким образом, чтобы после отражения от по
верхностей А, В или С формировались практически сферические волны, проходящие сквозь точечную
диафрагму. Голограмма I предназначена для последующего деформирования волны. Это достигается
путем фазового сопряжения асферической и плоской волн, входящих с одной и той же стороны по от
ношению к голограмме. Для восстановления волнового фронта сзади и в противоположном направле
нии вводится плоская волна. В [13] показано, что в данном случае даже порожденная рассеивателем
деформация волны может быть компенсирована. Роль последнего играет асферическое зеркало. На
рисунке 16 изображены отклонения двух асферических поверхностей при параллельной и наклонной
юстировке. Интерферометр Тваймана—Грина и предварительная компенсация волнового фронта не
обходимы для юстировки. Во-первых, для юстировки можно использовать интерференцию в белом
свете. Во-вторых, наблюдение за фокальной плоскостью предварительно скомпенсированного волно
вого фронта предоставляет возможность контроля за предварительной юстировкой перемещающихся
поверхностей В и С (рисунок 17). Таким способом можно сравнивать асферические поверхности одной и
той же группы и различные состояния какой-либо асферической поверхности, что позволяет убеж
даться в наличии вращательной симметрии поверхности.
а) Параллельная юстировкаб) Наклонная юстировка
Рисунок 16 — Расхождение двух асферических поверхностей
(искажения, вносимые интерферометром, исключены)
а) Идеальная юстировкаб) Идеальная юст^>овка
при небольшой разьюсткровке
асферических поверхностей
Рисунок 17 — Поперечное сечение пучка вблизи плоскости его максимального ограничения
(легкая расфокусировка)
Голограмма I на рисунке 15 служит для освещения интерферометра. После отражения асфериче
скими поверхностями А. В или С формируются практически сферические волны. Отклонения поверх
ности В от формы поверхности А фиксируются на голограмме II. Отклонения формы поверхности С от В
измеряются после замещения поверхности В поверхностью С. Источник белого света служит для
юстировки центров двух асфериков друг относительно друга.
17