ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
6.3 Сферические поверхности
6.3.1 Общие сведения
Методы интерферометрии, используемые для определения абсолютных отклонений сферических
поверхностей от идеальной сферы, по своей сути являются методиками определения сферичности.
Главный радиус сферической поверхности не определяется. Радиус может быть измерен другими спо
собами. многократно описанными в технической литературе. В целом это не является проблемой, по
скольку в большинстве практически важных случаев погрешность, допустимая при измерении радиуса
сферической поверхности, на порядок больше таковой при определении отклонений от сферичности.
В 6.3.2 и 6.3.3 описаны две методики. Трехпозиционная методика (6.3.2) математически описыва
ется простыми соотношениями, но подходит лишь для поверхностей с весьма малыми радиусами кри
визны. Методика «вращательного сдвига» (6.3.3) требует большего объема вычислений, но пригодна
какдля малых, так идля больших, простирающихся до бесконечности, радиусов кривизны и предостав
ляет широкие возможности для компенсации погрешностей измерений.
6.3.2 Трехпозиционная методика (1, 7]
Методика пригодна для использования в оптических схемах интерферометров Физо и Твайма-
на—Грина. Измерению подлежат абсолютные значения четной и нечетной частей отклонения, получа
емые путем оценки трех интерферограмм. Для пояснения сути методики рассмотрим оптическую схему
интерферометра Тваймана—Грина с тремя различными положениями контролируемой сферической
поверхности, представленными на рисунке 25:
а)основное положение, поверхность освещается перпендикулярно, а волновой фронт на выходе
интерферометра описывается уравнением
v) = R(M,
v
)
+ 0(ц. v) + N(p. v):(23)
я) Полонии» a
е)поло*а«»а
2
а) Попам и » a
1 — лазер; 2 — камера: R -опорная поверхность; О — формирующая оптическая система. N - контролируемая поверхность
Рисунок 25 — Трехпозиционная методика
26