ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
6.4.2 Методика измерений цилиндричности с применением зеркала под наклоном [16]
На рисунке 28 показана геометрия эксперимента, иллюстрирующая сущность методики. Цилин
дрический волновой фронт WF с неизвестными погрешностями интерферометра, падает не на неиз
вестную контролируемую поверхность, а на известное плоское зеркало Р. поверхность которого на
рисунке 28 представлена «фокальной линией» F. Волновой фронт отражается последовательно под
некоторыми углами. Благодаря полученным результатам измерений можно определить погрешности
интерферометра, т. е. произвести его калибровку, для чего необходимы, по крайней мере, два угла по
ворота зеркала.
F —фокальная пиния; Р — плоское зеркало; W F — волновой фронт
Рисунок 28 — Методика с применением зеркала под наклоном
6.4.3 Методика измерений цилиндричности с помощью крышеобразного зеркала [17]
На рисунке 29 изображена последовательность трех измерений при реализации данной мето
дики. При выполнении измерений I и II цилиндрический образец принимает положение по нормали в
измерительном плече интерферометра с цилиндрическим объектным пучком. В промежутке между
положениями I и II образец поворачивается на 180* вокруг оптической оси. В положении III {третье из
мерение) образец замещается крышеобразным зеркалом с углом раскрыва 90°. Вершина «крыши»,
«фокальная линия» пучка цилиндрического интерферометра и оптическая ось пересекают друг друга
под прямыми углами. По результатам измерений определяются погрешности интерферометра и аб
солютные значения погрешностей измерений цилиндричности образца. Следовательно, производится
калибровка интерферометра, а образец становится стандартным образцом.
1 — интерферометр Тваймана -Грина
Рисунок 29 — Методика измерений цилиндричности с использованием крышеобразного зеркала
30