ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
Альтернативный вариант — дифракционная решетка Рончи и другие портативные двухлучевые
интерферометры, неоднократно описанные в литературе [5].
Для плавных асферических волновых фронтов перспективно применение оптических схем ин
терферометров радиального сдвига, когда исходный волновой фронт сопоставляется с асферическим
волновым фронтом, увеличенным в поперечном направлении по масштабу (рисунок 9). При этом ради
альный сдвиг может быть сделан сколь угодно большим, таким, что в первом приближении интерфе
рограммы непосредственно отражают практически в реальном масштабе имеющие место отклонения
волнового фронта.
Рисунок 9 — Циклический интерферометр радиального сдвига
5.32.4 Нулевые методы контроля с использованием преломляющих оптических систем и компью
терных синтезированных голограмм
Во избежание возникновения систематических погрешностей и использования сложных вычисли
тельных процедур стараются применять схемы интерферометров, в которых светоделители минималь но
искажают волновые фронты. Это может быть достигнуто путем использования компенсационных
оптических элементов, формирующих волновой фронт, сопряженный с волновым фронтом, прелом
ленным или отраженным асферической линзой или асферическим зеркалом. Если идеальный асфе-
рик формирует волновой фронт с комплексной амплитудой е"<’,а(ж’у), то компенсирующая оптическая
система (нулевая линза) должна воспроизводить сопряженный волновой фронт етаким обра
зом. чтобы в последующей серии экспериментов воспроизводился практически плоский (за исключени
ем неизбежных отклонений реального волнового фронта от идеального) волновой фронт, интерфери
рующий с плоской опорной волной.
На первый взгляд эта концепция представляется противоречивой, поскольку формирование со
пряженного асферического волнового фронта в Ли,а(х,у> требует в общем случае использования слож
ных оптических систем, которые сами по себе не могут быть проконтролированы с достаточной точно
стью. поскольку формируют такой же асферический фронт с его деформациями, но противоположного
знака. Однако при наличии нулевого объектива, содержащего несколько (или даже один) оптических
элементов, у которых достаточно точно измерена сферичность, проблема нулевого объектива может
быть решена.
12