ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
t — источник света; 2 — оптическая система формирования изо
бражения; 3 — контролируемая оптическая система; 4 — опорная
поверхность. 5 — плоский волновой фронт 6 — опорное зеркало.
7 — светоделитель; 8 — приемник иа основе ПЗС
Рисунок 18— ИнтерферометрТваймана—Грина
а) Шаг 1. Вначале перед контролируемой линзой 3 в интерферометре Тваймана—Грина (ри
сунок 18) устанавливается перпендикулярно к оптической оси плоская поверхность с отклонениями
Р(х, у) от идеальной плоскости. В такой конфигурации интерферометр Тваймана—Грина становится
интерферометром Майкельсона. Затем по образованной интерферограмме определяются следующие
аберрации
ИМ*, у) = WrJx , у) + 2Р{х, у)(8)
где Wnl(x. у) — аберрации, вносимые компонентами интерферометра.
б) Шаг 2. Интерферометр Тваймана—Грина используется в обычном режиме с опорной сфери
ческой поверхностью 4. располагаемой по нормали к оптической оси и имеющей отклонения S(x, у) от
идеальной сферы в координатной системе выходного зрачка оптической системы.
Тогда результирующие волновые аберрации равны
W2(x, у) = Wrcl(x. у) ♦ 2Woplsys(x. у) ♦ 2S(x, у)(9)
в) Шаг 3. Аберрации исследуемой оптической системы 3 определяются с использованием урав
нений (8) и (9)
Мор13уЛх-У) = -5\М2(х<У)-Щ Х’У )-2[$(Х’У )-р (Х’У)]\-
(Ю )
Для приведения в соответствие координатных систем как в плоскости выходного зрачка испытуе
мой оптической системы, так и на плоской и сферической поверхностях, требуется выполнить тщатель
ные вычисления и провести масштабирование.
Испытания линз требуют при
менения в целом опорной линзовой
системы, как показано на рисунке 19.
В случае использования интерфе
рометра Маха—Цандера требуются
высококачественные зеркала и свето
делители. На первый взгляд может по
казаться. что влияние плоских зеркал
интерферометра может быть исклю
чено путем записи сначала фазовых
искажений самого прибора без кон
тролируемого образца с последующим
испытанием, осуществляемым вве
дением вспомогательной оптической
системы и контролируемой линзы, и
затем вычитания из полученного ре-
Рисунок 19— Оптическаясхема контроля оптической системы
в проходящемсеете
19