ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
5.3.2.5 Относительный контроль асфериков
Как хорошо известно, в голографии волновой фронт может быть зафиксирован на фотопластинке
при выполнении определенных условий ограничения пространственных частот [11]. При контроле глад
ких поверхностей эти условия, как правило, выполняются. Однако при изменениях состояния объекта
(например, в процессе полировки оптического элемента) зарегистрированное на голограмме изображе
ние может оказаться непригодным для последующего сравнения с новым изображением поверхности
объекта. Возможность такого сравнения предоставляет голография в реальном масштабе времени,
когда сравниваются два состояния объекта в моменты времени т, и т2. При высоких требованиях к точ
ности и сходимости результатов измерений применение голографической методики становится пробле
матичным. если несущая частота на голограмме слишком высока. В этом случае поперечное «сжатие»
фотослоя становится особенно заметным. Более того, голографические пластины, как правило, недо
статочно стабильны, что, в свою очередь, порождает искажения волнового фронта.
В некоторых случаях полезно уменьшить несущую частоту путем сближения формы опорной вол
ны с формой поверхности (волновым фронтом) объекта. Подобный способ описан применительно к
сферам в работе [12]. Он также применим и для асферических поверхностей. Для его реализации две
асферические поверхности идентичной формы помещаются в интерферометр Тваймана—Грина (рису
нок 15). При надлежащей «подгонке» форм асферических поверхностей А и В (или С) голограмма II с
низкой несущей частотой может быть использована для регистрации отклонений поверхности В от А.
Поскольку интерферометр сам по себе несовершенен, необходимо применение разностного метода
сравнения форм асферических поверхностей В и С для компенсации погрешностей самого интерфе
рометра. Так как поверхность А используется в качестве опорной, то ее отклонения при сравнении В
и С также исключаются. Для обнаружения расхождений между отклонениями поверхностей В и С ис
пользуется процедура сравнения муаровой картины, одним объектом которой служит голограмма II с
зафиксированными на ней отклонениями между Л и В, а другим — интерференционная картина, ото
бражающая разницу между А и С. При этом контраст оказывается весьма слабым. Для его увеличения
необходимо перекрыть волну первого порядка дифракции.
1 -- источник белого соета; 2 — голограмма I; 3 - асферическая поверхность/; 4 — светоделитель S — асферическая поверх
ность В (или СУ. 6 — селектор первого порядка дифракции. 7 — голограмма II; 8 — формирователь изображения; а — излучение
лазера
Рисунок 15 — Интерферометр с двумя компенсирующими голограммами для контроля асферических
поверхностей
Однако при наличии сильных деформаций асферических поверхностей пространственное раз
деление нулевого и первого порядков дифракции оказывается невозможным, так как несущая частота
мала (например. 10 линий/мм) и границы спектра пространственных частот простираются дальше, чем
промежуток между упомянутыми порядками дифракции. Для сжатия пространственного спектра ча-
16