ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
б)перевернутое положение, поверхность освещается перпендикулярно, будучи повернутой на
180° вокруг оптической оси. а волновой фронт на выходе интерферометра описывается уравнением
в)положение «кошачий глаз», вершина поверхности совпадает с фокусом, а волновой фронт на
выходе интерферометра описывается уравнением
где Я?. О и /дописывают волновые аберрации, соответственно, опорного плеча интерферометра, опти
ческой системы, формирующей объектный пучок, и контролируемой поверхности, а (р, v) — прямо
угольные координаты.
Решение приведенной системы уравнений относительно W(p, v) можно записать в виде
Отклонение поверхности, полученное из уравнения (26), должно быть уменьшено вдвое. Эта ме
тодика позволяет определить абсолютные отклонений в точках поверхности, соответствующих выборке
точек на приемной поверхности приемника излучения.
6.3.3 Методика «вращательного сдвига)»
Методика основана на относительных измерениях, выполняемых с помощью интерферометра
Фиэо или интерферометра Тваймана—Грина для сферического объектного пучка. На рисунке 26 пока
зана оптическая схема интерферометра Физо применительно к рассматриваемомуслучаю. А» В пред
ставляют собой подлежащие измерению два неизвестных сферических стандартных образца или две
поверхности эталонов (А — выпуклая. В — вогнутая). Для их освещения используется микрообъектив.
Световой поток, отраженный поверхностью А. интерферирует со световым потоком, отраженным по
верхностью В. Полученная интерферограмма отображает результаты относительного сравнения этих
двух неизвестных поверхностей Л и В. Необходимы по крайней мере три такие
интерферограммы. На каждой из них поверхность В находится в ином поперечном или вращательном
положении по от ношению к поверхности А. На рисунке 27 представлены четыре такие
конфигурации (наблюдение в направлении распространения света), причем три из них необходимы
для реализации методики, а чет вертая — для увеличения точности. В каждой из этих конфигураций
центры кривизны поверхностей А и 8 практически совпадают.в
v) = R(p, v) + 0{ц. v) ♦ A/(-p. -v);(24)
2
W’c(p,v) = R(p,v)+
0 (ц ,у ) - Q (-p .-v )
(25)
(26)
> — приемник излучения, 2 — микрообьектип; 3 -- эталон A: 4 — эталон S;
а — излучение лазера
Рисунок26— Оптическая схема реализации методики
«вращательного сдвига»
27