00
ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
а
•) Н а ш и м полаявши
М — эталон а начальном положении; S — образец о начальном положении; М * S — начальная интерференционная картина;
1— неоднородность образца на начальной интерференционной картине
кгSАГS
оо ю
в) Положения после перемещении ггнлоно
W — эталон после перемещения; S — образец. M’S — вторая интерференционная картина.
2 — неоднородность образца на второй интерференционной картине
Рисунок 2 — Интерференционные картины и влияние перемещения
W
S i
M+S
а) Нмвльньшполомим
М — эталон в начальном положении. M i — индекс эталона; S — начальное положение образца; S/ — индекс образца;
М * S. M i * Si — начальная интерференционная картина:
t — неоднородность образца на начальной интерференционной картине
мг
sш а
С)Пцгюим чя послегмщ хш вбрмцн
А — эталон: В - образец после поворота: С — вторая интерференционная картина;
2 — неоднородность образца на второй интерференционной картине
Рисунок 3 — Интерференционные картины и влияние вращения
Путем сравнения различных интерференционных картин, соответствующих разному взаимному рас
положению эталона и образца, пользователь может определить местонахождение и размеры дефектов
(при этом необходимо помнить, что интерферограмма отображает алгебраическую сумму аберраций).
5.1.2.2 Определение качества эталона плоской поверхности
Очевидно, что оптический элемент, используемый в качестве эталона плоской поверхности, дол
жен быть аттестован. Проверка его качества производится в соответствии с рекомендациями, содер
жащимися в данном подразделе.
6