ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
1 — плоское зеркало; 2 — параболоид; 3 — формирующая оптическая система. 4 — поляризационный светоделитель,
а — излучение лазера 6 ■- излучение, направленное к приемнику
1 — формирующая оптическая система: 2 -■ эллипсоид. 3 — плоское опорное зеркало; 4 — светоделитель.
F, — точка фокусировки отраженной волны;— точка фокусировки падающей волны; а — излучение лазера; 6 — излучение
направленное к приемнику
Рисунок 6 — Контроль эллипсоидального зеркала
5.3.2.2 Контроль с использованием интерферометра Фиэо (метод пробного стекла)
Плавные асферики можно контролировать путем сравнения асферической поверхности со сфе
рической согласованной кривизны, или. в некоторых случаях, с плоскими пробными стеклами. Со
гласование означает, что интерферометр Физо создает низкочастотную интерферограмму. Максимум
возможного расхождения асферической поверхности с согласующей сферой определяется теоремой
Найквиста и ограничениями, накладываемыми допустимой систематической погрешностью.
Для определения наиболее подходящего волнового фронта источника излучения необходим тща
тельный анализ возможных систематических погрешностей. Первый вариант заключается в выборе
этого волнового фронта, согласованного с опорной поверхностью. На рисунке 7 приведен типичный
пример плавного выпуклого асфорика. В первом приближении применение этой методики обеспечива ет
расхождения с наиболее подходящей по форме сферой порядка нескольких микрометров.
10