ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
Основными стандартными образцами (эталонами) являются плоскости и сферические поверх
ности. Методики калибровки, базирующиеся на применении плоских и сферических стандартных об
разцов. описаны соответственно в 6.2 и 6.3. Отклонения стандартных образцов следует рассматривать
как отклонения от идеальной математической опорной поверхности (плоской или сферической соот
ветственно). Такие отклонения часто именуются абсолютными. Методики интерферометрии, направ
ленные на определение абсолютных отклонений, принято называть абсолютными методиками интер
ферометрии в отличие от относительных методик, описанных в разделе 5.
В 6.2 и 6.3 рассмотрены наиболее важные методики, рекомендованные для использования. Вы
бор методики зависит от постановки задачи. Например, если применяется плоский стандартный обра
зец в горизонтальном положении, то следует пользоваться абсолютной методикой, описанной в 6.2.1. а
если в вертикальном, то более подходящими оказываются методики, описанные в 6.2.2 и 6.2.3.
Если необходимо изготовить стандартный образец с поверхностью наивысшего качества, то тре
буется выполнять ряд последовательных операций в процессе его изготовления. В промежутках между
этими операциями необходимо проводить абсолютные измерения, но с относительно низкой простран
ственной разрешающей способностью (например, см. 6.2.3).
И наоборот, при получении окончательного результата (например, при сертификации стандартно
го образца) болео полезными оказываются методики, описываемые в 6.2.2.
6.2 Плоскости
6.2.1 Жидкое зеркало [7]
Идеальной плоскостью, которая может быть образована с учетом и под влиянием силы тяжести,
является поверхность жидкости. Рекомендуемые для этой цели жидкости: медицинский жидкий пара
фин. вода, ртуть, кремний-органическое (силиконовое) масло.
Оптическая схема — интерферометр Физо с горизонтально рас
положенными поверхностями (рисунок 21). Как правило, верхняя
поверхность В — контролируемая поверхность, а нижняя поверх
ность А — жидкое зеркало. При этом необходимо, чтобы контро
лируемый образец был прозрачным (например, стеклянной пла
стиной). Если же он непрозрачен, то его следует разместить внизу
в качестве поверхности А, но при этом располагаемая наверху
жидкость должна быть прозрачной.
Выбор подходящей жидкости ограничен требованием от
сутствия влияния сторонних возмущений, каковыми являются:
механические колебания (вибрации), колебания температуры,
эффекты испарения, электрические разряды, капиллярные по
граничные эффекты, частицы пыли в жидкости, неровности дна
сосуда при слишком тонком слое жидкости, кривизна земной по
верхности. прогиб испытуемой поверхности под действием силы
тяжести с учетом ее горизонтального положения.
Последнее возмущение носит общий характер и рассмотре
но в подразделе 3.3.3 ИСО 14999-2. Если размеры жидких зер
кал не слишком велики, то влияние кривизны земной поверхности
пренебрежимо мало; в любом случае это влияние известно и при
необходимости может быть учтено. Другие эффекты связаны со
свойствами жидкости и толщиной ее слоя и при необходимости
могут быть приняты во внимание.
Необходимо учитывать коэффициент отражения жидкой
поверхности, так как он влияет на контраст и видность интерфе
ренционных полос. Если используется зеркало из ртути, а контро
лируемая поверхность имеет частично прозрачное алюминиевое
покрытие, то она должна электрически контактировать с содержа
щим ртуть сосудом для стекания статических зарядов.
6.2.2 Методика трех плоскостей [7]
6.2.2.1 Исходными служат три неизвестные оптические плоскости А. В. С, подлежащие интер
ферометрическому сравнению в интерферометре Физо. На рисунке 22 представлена одна из этих
плоскостей. Для интерферометрического сравнения плоскости обьединяются в пары при различном
1 — зеркало; 2 — приемник излучения. 3 -
коллиматор; А — верхняя поверхность;
в —■
нижняя поверхность; а
—
излучение
источника. А В: комбинация из испытуС’
мых поверхностей
Рисунок 21 — Интерферометр Физо
для контроля плоских оптических по
верхностей
21