ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
ОПТИКА И ФОТОНИКА.
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМ
Ч а с т ь 3
Калибровка и аттестация интерферометров, методика измерений оптических волновых фронтов
State system for ensuring the uniformity of measurements. Optics and photonics. Interferometric measurement of
optical elements and systems. Part 3. Calibration and validation of interferometers, methodology of optical uavefronts
measurement
Дата введения — 2013—03— 01
1 Область применения
Настоящий стандарт рассматривает источники погрешностей и деление их на симметричные и
несимметричные части. В нем также описываются критерии оценки надежности результатов измерений
по качеству физически реализуемой эталонной поверхности и создание методик испытаний, обеспечи
вающих достижение абсолютной калибровки.
2 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины и определения:
2.1 идеальная форма: Математическое описание формы оптической поверхности.
2.2 погрешность поверхности: Отклонение контролируемой поверхности от идеальной формы,
включая воздействия, оказываемые силой тяжести и креплением.
2.3 погрешность волнового фронта: Отклонение формы волнового фронта, соответствующее
отклонению поверхности, определяемое по интерферограмме.
2.4 абсолютное измерение: Методика, выявляющая отклонение волнового фронта контроли
руемого объекта относительно идеальной формы, а не физически реализованной поверхности.
2.5 квазиабсолютное измерение: Методика, выявляющая отклонение формы волнового фрон
та. ограниченное определенными источниками, но также относительно идеальной формы, а не физи
чески реализованной поверхности.
3 Систематическое исследование контрольного оборудования,
измерительной установки и окружающей среды как источников
погрешностей
3.1 Общие сведения
Как известно, целью измерения является определение значения измеряемой величины, причем в
контексте данного стандарта эта оптическая величина или параметр, как. например, форма волнового
фронта, связана с характеристиками оптических элементов или оптических систем. Измерение начина
ется с выбора подходящей измеряемой величины, определения метода и соответствующей методики
выполнения измерений.
Издание официальное
1