ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
Пример — В 6.2 описан метод «трех плоскостей», когда плоская поверхность N1 сравнивается с
плоской поверхностью N2, затем с N3, а N3, в свою очередь, с N2. в результате чего пользователь по
лучает отклонения всех трех плоских поверхностей от идеальной формы.
Эталон и образец можно рассматривать отдельно путем введения непрозрачного экрана в плечи
интерферометра. Перемещать можно как эталон, так и образец. Направление и величина перемеще
ния выбираются пользователем, который может при желании исключить одну или более трансляций.
Интерференционные картины формируются путем алгебраического суммирования дефектов эталона и
образца, причем предоставляют информацию об обеих поверхностях.
Эталон и образец можно рассматривать отдельно путем введения непрозрачного экрана в плечи
интерферометра. Вращать можно как эталон, так и образец. Углы поворота выбираются пользовате
лем, который может при желании исключить одно или более вращений. Интерференционные картины
формируются путем алгебраического суммирования дефектов эталона и образца, причем предостав
ляют информацию об обеих поверхностях.
5.1.3 Калибровочный сертификат
Выпускаемые промышленностью интерферометры и вспомогательные {в отечественной трактов
ке разрядные) эталонные плоские поверхности должны снабжаться калибровочными сертификатами.
Калибровочный сертификат на эталонную плоскую поверхность должен содержать информацию о ее
неплоскостности. а также детальное отображение расположения и размеры дефектов.
5.2 Сферы
5.2.1 Общие сведения
Оптическое качество вогнутого или выпуклого волновых фронтов может быть определено по от
ношению к физически реализованной сферической поверхности, откалиброванной по задаваемым па
раметрам, т. е. с известным оптическим качеством. При этом следует иметь в виду когерентность из
лучения источника. Как сферический волновой фронт, так и сферическая эталонная поверхность имеют
центры кривизны.
Для получения требуемой интерференционной картины оба центра кривизны следует располо
жить как можно ближе друг к другу. Пользователь может добиться этого юстировкой плеч интерферо
метра.
5.2.2 Настройка интерферометра по идеальному эталону
Каждая разъюстировка центров кривизны приводит к интерференционной картине, свидетель
ствующей о появлении разности хода между сферическими волновыми фронтами.
При юстировке интерферометра могут формироваться следующие интерференционные картины:
- оба центра кривизны расположены один за другим на оптической оси: интерферограмма пред
ставляет собой совокупность концентрических колец:
- оба центра кривизны лежат в одной плоскости, перпендикулярной оптической оси: результат —
интерференционная картина Юнга, т. е. совокупность прямолинейных полос;
- один из центров кривизны расположен не на оптической оси и не в той же плоскости, что и вто
рой центр: интерференционная картина в виде эллипсов или парабол.
При настройке интерферометра следует добиваться картины в виде концентрических полос, учи
тывая. что:
- расстояние между кольцами возрастает, когда оба центра кривизны приближаются друг к другу:
- полоса нулевого порядка имеет место при совмещении центров кривизны;
- оставшиеся после юстировки интерференционные полосы соответствует дефектам контроли
руемого образца.
5.2.3 Оценка качества эталона
Метод «трех сфер» позволяет определить качество сферического эталона так же, как метод «трех
плоскостей» позволяет сделать то же самое применительно к плоскому эталону (см. также 6.3).
Оптическое производство позволяет изготовить сопряженные пары вогнутых и выпуклых сфери
ческих эталонов одинакового радиуса путем их совместной полировки. Процедура оценки их качества та
же, что идля плоских эталонов.
5.2.4 Альтернативный метод
Этот метод применим к сферам с радиусом, превышающим несколько метров. В этом случае эта
лоном может служить плоскоезеркало, тогда интерференционная картина после правильной юстировки
будет представлять собой совокупность концентрических колец. Пользователь может контролировать
правильность определения кривизны поверхности, следя за расстоянием между полосами (кольцами).
7