ГОСТ Р 8.744—2011/ISO/TR 14999-3:2005
6.2.22 Для калибровки плоскостей абсолютным методом вращения необходимо соблюсти опре
деленную последовательность операций:
а) Три плоскости А. В. Собъединятся попарно в четырех различных положениях в соответствии с
рисунком 24 и встраиваются в оптическую схему интерферометра Физо. В каждом из этих положений
измеряются и фиксируются расстояния между плоскостями в точках, где производятся измерения.
б) По измеренным расстояниям вычисляются средние значения погрешностей измерений.
в) В случае квадратной или прямоугольной формы матричного приемника результаты интерполи
руются в полярную систему координат.
г) По полученным в результате интерполяции данным определяются абсолютные значения откло
нений от плоскостности (например. xv на рисунке 23).
д) Затем эти значения представляются в полярных координатах, после чего обратно интерполи
руются для представления на квадратной или прямоугольной сетке, соответствующей расположению
отдельных приемных элементов в матрице приемника.
е) Абсолютные значения отклонений далее обрабатываются с целью определения таких параме
тров поверхности, как. например, контурные линии. 3D графики, критерии качества и др.
6.2.2.3 Для выполнения операции а) в 6.2.2.2 должны быть соблюдены следующие условия:
а) Контролируемые пластины должны быть смонтированы вертикально, т. е. нормали к поверхно
стям пластин должны быть горизонтальными. Тогда изменения в прогибе пластин в ходе эксперимента
могут не приниматься во внимание. Прогиб может порождать систематические погрешности в тех слу
чаях. когда пластины применяются в другой ориентации, чем во время абсолютной калибровки. Тогда
влияние прогиба должно учитываться. Это может быть выполнено путем математического моделирова
ния пластины и вычисления прогиба.
б) Обе контролируемые поверхности, объединенные для соответствующего относительного изме
рения. должны быть изображены на микрофише камеры. При этом изображения координатных систем
одной из этих двух поверхностей и микрофишы должны совпадать. Оси декартовой системы координат
микрофиши должны иметь направления, совпадающие с направлениями строк и столбцов матрицы
пикселей, а центр этой системы координат должен служить опорным пикселем, предпочтительно рас
положенным вблизи геометрического центра микрофишы.
в) Для четвертого совмещения пластин (А& на рисунке 24) вторая пластина в первой основной
комбинации должна быть повернута на угол Ф. Этот поворот должен быть выполнен вокруг нормали к
поверхности в начале ее системы координат.
г) Диаметр интерферограммы на микрофише должен быть достаточно большим, превышающим
несколько расстояний между пикселями. Значения фазы, измеренные в пикселях внутри этого круга,
используются при вычислениях абсолютных значений отклонений от плоскостности.
д) Контролируемые пластины должны обладать достаточной механической и тепловой стойкостью.
Таким образом, в дополнение к условиям а)—г), устанавливающим геометрические соотношения
между пластинами и интерферометром, сами пластины должны удовлетворять некоторым требовани
ям. связанным с их размерами. Они должны быть изготовлены из надлежащего материала, надежно
закреплены и термостатированы.
Пример — В таблице 1 приведены значения максимально допустимых отклонений для оптической
схемы со следующими параметрами: М -7 , N = 30. Ф = 84’. микрофиш 256 ■256 пикселей, круглая интер
ферограмма диаметром 232 пикселя, систематическая погрешность за счет неточной юстировки ин
терферометра <//300. Указанный угол поворота Ф - 84° обеспечивает пространственное разрешение,
соответствующее квадратной сетке ~30 к 30 пикселей, т. е. в результате различимы 500—600 точек
поверхности. Для получения еще большего пространственного разрешения при том же уровне точ
ности было добавлено пятое сочетание поверхностей, в котором поверхность В поворачивается на
угол КФ, где Ф — угол поворота четвертого позиционного сочетания поверхностей в подпункте а)
в 6.2.2.2. При выборе N, соответствующего требуемому числу диаметров. К = -Щ
(К
— ближайшее
целое число). В результате легко достигается пространственное разрешение 128 * 128 точек.
Т аб лиц а 1 — Максимально допустимые отклонения
Условие
Содержание
Отклонение
1
Нормали к горизонтальной поверхности
± 5 *
2
Совпадение опорного пикселя с изображениями центров координатных систем поверхностей
Совпадение опорного пикселя и геометрического центра микрофиша
г 1 пиксель
- 5 пикселей
24