ГОСТ Р 56662—2015
2.9
нанотрубка: Полое нановолокно (2.3).
nanotube
[ИСО/ТС 27687:2008. статья 4.4]
3 Термины иопределения основных понятий, относящихся кпроцессам
нанотехнологического производства
bottom up
nanomanufactu-
ring
co-deposition
3.1 нанотехнологическое производство «снизу-вверх»: Технология, основан-
ная на применении атомов, молекул и/илинанообъектов в качестве исходного мате-
риала для формирования более крупных и функционально сложных структур или
конструкций различныхобъектов.
3.2 соосаждение: Осаждение одновременно двух или более исходных материа-
лов.
П р и м е ч а н и е — К основным методам соосаждения относят вакуумное напыление, термическое напыление,
электроосаждение и осаждение твердых частиц суспензии.
3.3 истирание: Процессдробления илиизмельченияисходного материалас целью
уменьшения размеров егочастиц.
3.4 направленная сборка (нанотехнологии): Процесс формирования конструкций
объекта в соответствиисзаданным шаблоном, основанныйна примененииуправля
емых внешних воздействий к исходным нанообъектам.
3.5 направленная самосборка: Процесс самосборки (3.11) всоответствиисзадан
ным шаблоном, происходящий под управляемыми внешними воздействиями.
communition
directed assembly
directed
self-assembly
П р и м е ч а н и е — Процесс направленной самосборки может происходить под действием приложенного сило
вого поля, сип потока жидкости, введенногов исходное вещество химического реагента или по заданному шаблону.
3.6 литография: Процесс формирования структуры объекта или рельефного изо- lithography
бражения путем воспроизведениязаданного шаблона на подложке.
П р и м е ч а н и е — Шаблон изготавливают из материала, чувствительного к излучению, и осуществляют его
перенос на подложку для формирования нужной структуры методами контактной печати или прямой записи.
multilayer
deposition
nanofabrication
3.7 многослойное осаждение: Процесс получения композиционных материалов
со слоистой структурой путем последовательного осаждения на подложку двух или
более исходных материалов.
3.8 нанотехнологическое изготовление: Совокупность действий, направленных
на преднамеренное изготовление объектов, устройств или их элементов, размеры
которых находятся в нанодиапазоне (2.7), для коммерческихцелей.
3.9
нанотехнологическое производство: Преднамеренный синтез, изготовление
или контроль наноматериалов, а также отдельные этапы процесса изготовления в
нанодиапазоне (2.7)для коммерческих целей.
{ИСО/ТС 80004-1:2010. статья 2.11]
nanomanufactu
ring
3.10
процесс нанотехнологического производства: Совокупность мероприятий,
направленных на преднамеренный синтез, изготовление или контроль наномате
риалов (2.4), а также отдельные этапы процесса изготовления в нанодиапазоне
(2.7) для коммерческих целей.
(ИСО/ТС 80004-1:2010, статья 2.12]
nanomanufactu
ring process
3