ГОСТ Р 56662—2015
спекание наночастиц
6.5.13.2
спекание плазменное электроимпульсное
6.5.13.3
сушка сублимационная
6.1.4.1
сушка распылительная
6.1.4.2
тиснение
7.4.1
ТИСП
7.3.12
травление анизотропное
7.3.1
травление жидкостное
7.3.22
травление избирательное
7.3.21
травление изотропное
7.3.14
травление индуктивно связанной плазмой
7.3.12
травление ионное реактивное
7.3.20
травление ионно-лучевое
7.3.13
травление ионно-лучевое химическое
7.3.4
травление ионно-стимулированное
7.1.13
травление криогенное
7.3.5
травление кристаллографическое
7.3.6
травление пвссивационное
7.3.2
травление плазменное
7.3.18
травление плазмой высокой плотности
7.3.11
травление по трекам излучения
7.3.19
травление распылением
7.3.17
травление реактивное ионное глубокое
7.3.7
травление световым излучением
7.3.16
травление сухое
7.3.9
травление физическое
7.3.17
травление фокусированным ионным пучком
7.3.10
травление фотохимическое
7.3.16
травление химическое
7.3.3
ТФИЛ
7.3.10
УНТ
2.1
ФГУ
7.1.5
ФОГФ
7.2.14
формирование многослойной пленки
7.4.2
формирование нановолокон по механизму роста «пар-жидкость-кристалл»
6.2.4
формирование пленки Ленгмюра-Блоджетт
5.4
фотолитография
7.1.20
фотолитография в глубоком ультрафиолете
7.1.5
фотолитография в экстремальном ультрафиолете
7.1.8
фотолитография фазоконтрастная
7.1.21
фрезерование ионно-лучевое
7.3.13
функционализация поверхности
3.12
ФЭУ
7.1.8
ХОГФ
7.2.3
ХОГФСТМ
7.1.24
штамповка с кручением многократная
6.5.10
23