ГОСТ Р 56662—2015
П р и м е ч а н и я
1 Процесс испарения применяют дпя осаждения материала на подложку. Процесс испарения лежит а основе про
цессов физического осаждения из газовой фазы (ФОГФ) (7J.
2 Процессы ФОГФ в условиях высокого вакуума происходят при давлении а диапазоне от 10"* до 10 "9 торр. в усло-
виях сверхвысокого вакуума — при давлении ниже
1
0-9 торр.
6.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам химического осаждония из
газовой фазы
6.2.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам осаждения в условиях
воздействия пламени
6
.
2
.
1.1
liquid precursor
combustion
экзотермическое разложение жидкого вещества: Процесс получения твердого
агрегированногоматериала, в т. ч. наноматериала (2.4). осаждаемого на подложку в
результатеэкзотермической реакции окисления раствора исходного материала.
(ИСО 19353. статья 3.3. определение термина изменено)
6.2.1.2 плазменное распыление: Процесс получения твердого агрегированного
материала, в т. ч. наноматериала (2.4), осаждаемого на подложку, с применением
плазменной струи, образованной источником ионизированного газа.
6.2.1.3 пиролиз аэрозоля: Процессполучения твердогоагрегированного материа
ла. в т. ч. наноматериала (2.4), осаждаемого на подложку в результатесжигания или
нагревания до заданной температуры распыляемого исходного материала в виде
аэрозоля.
6.2.1.4 плазменное распыление жидкого вещества: Процессполучениятвердого
агрегированного материала, вт. ч. наноматериала (2.4), осаждаемого наподложку в
результате воздействия струи термической (равновесной) плазмы на распыляемый
раствор исходного материала иего последующего охлаждения.
6.2.1.5 термическое разложение жидкого вещества: Процесс получения твердо
гоагрегированного материала, в т. ч. наноматериала (2.4). осаждаемого на подлож ку
в результате нагревания до заданной температуры распыляемого исходного
жидкого материала.
6.2.2 тормическое разложение в трубчатой печи: Химическое осаждение изгазо
вой фазы (7.2.3), осуществляемое в трубчатой печи при заданной и контролируемой
температуре поверхности подложки с исходным материалом.
6.2.3 термическое разложение инфракрасным излучением: Процесс получения
твердого материала, состоящего в т. ч. из ианочастиц (2.6). осаждаемого на подлож ку
в результате нагревания инфракрасным излучением до заданной температуры
исходного газообразного вещества.
6.2.4 формирование нановолокон по механизму роста «пар-жидкость-крис-
талл»; ПЖК: Процессполучения на подложке нановолокон(2.3)изисходного газооб
разного материала с применением жидкого катализатора.
plasma spray
pyrogenesis
solution precursor
plasma spray
thermal spray
pyrolysis
hot wall
tubular reaction
photothermal
synthesis
vapour-liquid-solid
nanofibre
synthesis;
VLS
П р и м е ч а н и е — Формирование нановолохон no механизму роста «пар— жидкость—кристалл» происходит при
наличии на кончиках формирующихся нановолокон капель жидкого катализатора, адсорбирующего исходный
газообразный материал до уровня перенасыщения, из которого в дальнейшем происходит рост нановолокон.
6.3 Термины и определения понятий,относящихся к физическим методам синтеза в жидкой
фазе
6.3.1 электропрядение: Процессвытягивания волокон из исходного жидкого мате
риала поддействием сил электрического поля.
6.3.2 интеркаляционная полимеризация in-situ: Процесс получения нанокомпо
зита (2.2). основанный на введении мономера в исходный слоистый неорганический
материал ипоследующей его полимеризации.
6.3.3 диспергирование нанодисперсной системы: Процесс получения наносус
пензии. основанный на предотвращении или замедлении скорости осаждения
наночастиц (2.6) за счет внутреннего или внешнего воздействия (например, сил
6
electrospinning
in-situ
intercalative
polymerization
nanoparticle
dispersion