ГОСТ Р 56662—2015
Содержание
1 Область применения........................................................................................................................................1
2 Термины и определения понятий, установленные в другихстандартахсерии ИСО/ТС 80004 ...........1
3 Термины и определения основных понятий, относящихся к процессам нанотехнологического произ
водства ................................................................3
4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам направленной сборки.............................4 5
Термины и определения понятий, относящихся к процессам самосборки................................................4 6
Термины и определения понятий, относящихся к процессам синтеза наноматериалов........................5
6.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам физического осаждения из газовой
фазы. .......................................................................................................................................................... 5
6.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам химического осаждения из газовой
фазы.............................................................................................................................................................6
6.3 Термины и определения понятий, относящихся кфизическим методам синтеза вжидкой фазе . 6
6.4 Термины и определения понятий, относящихся кхимическим методам синтеза вжидкой фазе . 7
6.5 Термины и определения понятий, относящихся кфизическим методам синтеза втвердой фазе 7
6.6 Термины и определения понятий, относящихся кхимическим методам синтеза втвердой фазе 9
7 Термины и определения понятий, относящихся кпроцессам изготовления продукции....................9
7.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам литографии в нанодиапазоне . . . 9
7.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам осаждения....................................12
7.3 Термины и определения понятий, относящихся к процессам травления......................................14
7.4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам печати и нанесения покрытий . . 16
Приложение А (справочное) Классификация процессов синтеза в зависимости от применения исход
ных наноматериалов или нанообъектов, применяемыхдля производства конечной
продукции..................................................................................................................................17
Алфавитный указатель терминов на русском языке......................................................................................20
Алфавитный указатель терминов на английском языке.................................................................................24
Библиография........................................................................................................................................................29
in