ГОСТ Р 56662—2015
Алфавитный указатель терминов на русском языке
абляция лазерная
7.3.15
адсорбция
7.2.1
АСО
7.2.2
блок-сополимеризация
6.5.1.1
блок-сополимеризация прививочная
6.6.1
Бош-травление
7.3.2
взрыв проволоки электрический
6.1.7
выпаривание
7.2.10
гидролиз целлюлозы кислотный
6.4.1
графоэпитаксия
5.2
ГРИТ
7.3.7
дериватизация блок-сополимеров
6.6.1
диспергирование глины в жидкой полимерной матрице
6.5.2
диспергирование нанодисперсной системы
6.3.3
диспергирование наночастиц в жидкой полимерной матрице
6.5.12
золь-гель технология
6.4.5
изготовление нанотехнологическое
3.8
измельчение
6.5.6
измельчение криогенное
6.5.9.1
имплантация ионная
6.5.8
импринтинг
7.4.1
интеркалирование
6.6.3
испарение
6.1.8
испарение электронно-лучевое
6.1.2
истирание
3.3
конденсация неорганических материалов быстрая
6.4.3
кристаллизация коллоидная
5.1
КХОГФ
7.2.4
литография
3.6
литография блок-сополимерная
7.1.3
литография естественная
7.1.19
литография интерференционная
7.1.11
литография ионно-лучевая
7.1.9
литография ионно-проекционная
7.1.14
литография мягкая
7.1.25
литография нанопечатная
7.1.18
литография оптическая
7.1.20
литография оптическая иммерсионная
7.1.10
литография плазменная
7.1.22
литография рентгеновская
7.1.27
литография с коллоидно-кристаллическим шаблоном
7.1.4
литография трехмерная
7.1.1
литография электронно-лучевая
7.1.7
литье керамической ленты
6.3.4
материал нанокомлозиционный
2.2
материал наноструктурированный
2.8
метод Стобера
6.4.7
20