ГОСТ Р 56662—2015
Приложение А
(справочное)
Классификация процессов синтеза в зависимости от применения исходных наноматериалов
или нанообъектов, применяемых для производства конечной продукции
Т а б л и ц а А.1
Группа
процессов
Подгруппа
процессов
Процесс
Процесс с приме
нением нанообъ
ектов
Процесс нано-
структурирова
ния материала
Физичес
коеосажде-
ние из газовой
фазы
Холодное газодинамичес
кое напыление
V
Электронно-лучевое испа
рение
V
Электроискровое осаж
дение
Электроискровое осажде
ние
Термическое разложение
инфракрасным излучением
V
Плазменноераспыление
жидкого вещества
у!
Напыление
\
Высушивание
тва
вещесСублимационная сушка
>1
Высушивание
тва
вещесРаспылительная сушка
yj
Быстроерасширение
сверхкритических растворов
yj
Суспензионное термичес
кое напыление
уI
Электрический взрыв про
волоки
УI
Испарение
У1
ние из газовой
фазы
ХимичесАтомно-слоевоеосажде
коеосажде-
ние (АСО)
у
1
Химическое осаждение из
газовой фазы (ХОГФ)
У
S
фазы (КХОГФ)
Каталитическоехимичес
кое осаждение из газовой
У1У1
Осаждение в условиях
воздействия пламени
Экзотермическое разложе
ние жидкого вешества
yj
у
1
Осаждение в условиях
воздействия пламени
Плазменное распыление
yj
Осаждение в условиях
воздействия пламени
Пиролиз аэрозоля
У1
у
S
Осаждение в условиях
воздействия пламени
Термическое разложение
жидкого вещества
У1
У1
17