ГОСТ Р 52250—2004
5.3.17 Проявленный рельеф пленки фоторезиста должен сохранять свою конфигурацию в допус
тимых пределах при повышении температуры.
Допустимые изменения формы рельефа, а также размеры промежутков междуэлементами схемы,
значения температуры и время ее воздействия устанавливают в ТУ.
5.3.18 Способность фоторезистной маски обеспечивать защиту поверхности подложки в травите-
ле для кремния должна быть не менее времени, устанавливаемого в ТУ.
5.3.19 Адгезия пленки резиста к подложке должна соответствовать требованиям и нормам, уста
навливаемым в ТУ.
5.3.20 Широта процесса экспонирования пленки должна соответствовать требованиям и нормам,
устанавливаемым в ТУ.
5.3.21
Л
инейность маски фоторезиста должна соответствовать требованиям и нормам, устанав
ливаемым в ТУ.
5.4 Требования к исходным материалам
5.4.1 В ТУ на резисты должны быть указаны марки материалов, используемых при изготовлении
резистов, и обозначение документов на их поставку.
5.4.2 Качество исходных материаловдолжно быть подтверждено клеймами или протоколами СКК
и ПЗ (при его наличии).
5.5 Требования к сохраняемости
5.5.1 Сроксохраняемости резистов прихранении их в условиях, допускаемых настоящим стандар
том и ТУ на резисты конкретных марок, должен быть не менее 6 мес.
Конкретный срок сохраняемости устанавливают в ТУ.
5.5.2 Параметры резистов в течение срока сохраняемости при хранении их в условиях, допускае
мых настоящим стандартом и ТУ на резисты конкретных марок, должны соответствовать нормам при
приемке и поставке, установленным в 5.3.
5.6 Требования к упаковке и маркировке
5.6.1 Упаковка и маркировка резистов должны соответствовать требованиям ГОСТ 3885 с допол
нениями и уточнениями, приведенными в 5.6.2—5.6.12.
5.6.2 Резисты упаковывают в потребительскую и транспортную тару.
5.6.3 В качестве потребительской тары используют бутылки из темного стекла с повышенными
светозащитными свойствами, с навинчивающимися крышками и прокладками из полимерного материа
ла. обеспечивающими герметичность упаковки: Зт-5; Зт-8 по ГОСТ 3885.
5.6.4 Бутылки, применяемые для упаковывания резистов, должны быть чистыми и сухими. Указа
ния по подготовке бутылок к расфасовке резистов и методы контроля их чистоты и отсутствия влаги
должны быть приведены в ТД на резисты.
5.6.5 Каждую бутылку при необходимости обертывают светонепроницаемой бумагой.
5.6.6 Бутылки срезистом помещают втранспортную тару — ящики из гофрированного картонадля
химической продукции по ГОСТ 13841 или фанерные ящики. Бутылки в ящике укладывают в ячейки,
образованные прокладками из гофрированного картона по ГОСТ 7376.
5.6.7 Допускается применениедругих видов тары, устройств крепления, уплотняющих материалов
и способов герметизации при условии согласования их с заказчиком и потребителем резиста и включе
ния в договор на поставку.
5.6.8 На каждую бутылку и на обертку бутылки из светонепроницаемой бумаги наклеивают этикет
ку в соответствии с ГОСТ 3885. на которой указывают:
- наименование предприятия-изготовителя:
- условное обозначение марки резиста;
- номер партии:
- дату изготовления:
- массу нетто:
- гарантийный срок хранения;
- надпись или символ, характеризующий опасность резиста по ГОСТ 19433.
На этикетке должен быть штамп СКК и ПЗ (в случае приемки заказчиком).
5.6.9 В каждый ящик со стороны крышки должен быть вложен упаковочный лист с указанием:
- наименования предприятия-изготовителя;
- условного обозначения марки резиста.
- номера партии и даты изготовления;
- количества упаковочных мест;
- массы нетто.
6