ГОСТ Р 52250—2004
8.9Контроль контраста проявления пленки резиста
8.9.1 Контроль контраста проявления пленки фоторезиста
8.9.1.1 Применяемые средства измерения, материалы и реактивы указывают в ТУ.
8.9.1.2 Подготовленную в соответствии с 8.1.6 пластину помещают в ванночку с раствором гидрок
сида калия и фиксируют время полного удаления неэкспонированной пленки фоторезиста.
Молярную концентрацию и температуру раствора гидроксида калия указывают в ТУ.
8.9.1.3 Обработка результатов
Контраст проявления пленки фоторезиста С. относительные единицы, вычисляют по формуле
где т, — время полного удаления неэкспонированной пленки фоторезиста, с;
т2 — оптимальное время проявления, с.
За результат испытания принимают среднеарифметическое результатов двух параллельных оп
ределений.
8.9.1.4Результаты испытаний считают положительными, если контраст проявления пленки фото
резиста соответствует значению, устанавливаемому в ТУ.
8.9.2 Контроль контраста проявления пленки электронорезиста
8.9.2.1 Контраст проявления пленки электронорезиста определяют методом, устанавливаемым в ТУ.
8.9.2.2 Результаты испытаний считают положительными, если контраст проявления пленки элек
тронорезиста соответствует значению, устанавливаемому в ТУ.
8.10Контроль массовой доли сухого остатка
Массовую долю сухого остатка в резисте определяют, удаляя растворитель в сушильном шкафу.
8.10.1 Применяемый тип вакуумного сушильного шкафа, средства измерения, посуду и реактивы
указывают в ТУ.
8.10.2 Проведение испытания
Навеску резиста массой, указываемой в ТУ. берут пипеткой, быстро переносят в стаканчик,
предварительно высушенный до постоянной массы в эксикаторе над прокаленным хлористымкальцием.
Стаканчик закрывают крышкой и взвешивают. Затем открытый стаканчик с навеской испытуемого
резиста, распределенного ровным слоем по дну стаканчика, и крышку помещают в вакуумный сушиль
ный шкаф и сушат при температуре, давлении и времени, указываемым в ТУ. После этого стаканчик
помещают в эксикатор и выдерживают 15—20 мин.
Проводят первое взвешивание закрытого стаканчика после сушки.
Продолжают сушку резиста в сушильном шкафу при тех же режимах, взвешивая стаканчик через
каждый час высушивания, до достижения постоянной массы (разность между двумя значениями массы
при взвешивании не должна превышать 0,0005 г).
8.10.3 Обработка результатов
Массовую долю сухого остатка Р, %, вычисляют по формуле
Р
т
2 — о т,
от
.
100
(
8
)
где от2 — масса стаканчика с остатком после высушивания, г,
от, — масса стаканчика, г;
от — масса навески резиста, г.
За результат принимают среднеарифметическое значение двух параллельных определений, пре
дельно допустимое расхождение между которыми не должно превышать 0.5 %.
8.10.4Результаты испытания считают положительными, если массовая доля сухого остатка соот
ветствует нормам, устанавливаемым в ТУ.
8.11 Контроль массовой доли НХД-rpynn в пересчете на сухой остаток
Массовуюдолю НХД-rpynn в фоторезисте определяют по оптической плотности раствора фоторе
зиста в максимуме поглощения.
8.11.1Применяемое оборудование и средства измерения (спектрофотометр, весы), посуду и
реактивы указывают в ТУ.
19