ГОСТ Р 52250—2004
В результате выдержки в проявителе происходит частичное растворение экспонированной пленки
фоторезиста.
Измерение толщины экспонированной пленки фоторезиста после выдержки в проявителе оцени
вают методом измерения толщин или методом измерения оптической плотности пленок.
8.15.3.1 Метод измерения толщин
На каждой /-й пластине пленку фоторезиста прорезают острием скальпеля по диаметру. Остаточ
ную толщину пленки
Л
ОС1(мкм) измеряют в центре пластины на микроинтерферометре, руководствуясь
инструкцией по эксплуатации. Результаты определения остаточной толщины пленки представляют в
виде таблицы 6.
Т а б л и ц а 6 — Остаточная толщина пленки фоторезиста в зависимости от дозы экспонирования
Номер пластины
Доза экспонирования Е. мДж/см2
Остаточная толщина пленки, мкм
1
A
,
2
е
2
oct
AOCTj
....
/
Л
ост,
8.15.3.2 Метод измерения оптической плотности
Для каждой /-й пластины измеряют оптическую плотность пленки фоторезиста послеэкспонирова
ния. а затем после выдержки в проявителе.
Измерение оптической плотности проводят при длине волны, указываемой в ТУ. на спектрометре,
руководствуясь инструкцией по эксплуатации.
В качестве эталона сравнения используют чистую пластину.
Результаты определения оптической плотности пленки представляют в виде таблицы 7.
Т а б л и ц а 7 — Оптическая плотность пленки фоторезиста в зависимости от дозы экспонирования
Номер пластины
Доза экспонирования Е. мДж.’см"’
Оптическая плотность
D
•К П
1
Е,
1
1)
JKC
п
,
1
О
■раш
D
лроин. (
2
е
2
Язьсп,
1
пронв..
/
Е.
D
D
1
JKCfki
Пpot
11.1
Для каждой й пластины вычисляют значение остаточной толщины пленки
Л
ос, . мкм, по формуле
Aipo«u.i,(13)
"о ст, - "и ск
~Т)
------------
жсп,
где
Л
исх — исходная толщина пленки, мкм;
7>про*вл — оптическая плотность, измеренная для /-й пластины после выдержки в проявителе;
DIKCU — оптическая плотность, измеренная для i-й пластины после экспонирования дозой, равной £).
8.15.4 Обработка результатов
Для обработки используют только те результаты определения остаточной толщины, для которых
значения
Л
(>С1 находятся в диапазоне от 0.1 до (Ансх — 0.1) мкм.
Для обработки должно быть использовано не менее шести результатов определения
Л
ост.
Вычисляют коэффициенты
и
Л
, модели зависимости
22
Л
= Ь0 +
Л
,Е.
(14)