ГОСТ Р 52250—2004
Н А Ц И О Н А
Л
Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Материалы электронной техники
РЕЗИСТЫ Д
Л
Я
Л
ИТОГРАФИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Общие технические условия
Electronic engineering materials. Resists for lithography processes.
General specifications
Дата введения — 2005—01—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на резисты для литографических процессов производства
полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (далее — резисты).
Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок (далее — ТУ), а также
совместно с ТУ при их приемке и поставке.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 2.114—95 Единая система конструкторской документации. Технические условия
ГОСТ 12.1.005—88 Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические
требования к воздуху рабочей зоны
ГОСТ 12.1.007—76 Система стандартов безопасности труда. Вредные вещества. Классификация
и общие требования безопасности
ГОСТ 12.1.014—84 Система стандартов безопасности труда. Воздух рабочей зоны. Метод изме
рения концентрации вредных веществ индикаторными трубками
ГОСТ 33—2000 Нефтепродукты. Прозрачные и непрозрачные жидкости. Определение кинемати
ческой вязкости и расчет динамической вязкости
ГОСТ 3885—73 Реактивы и особо чистые вещества. Правила приемки, отбор проб, фасовка.
упаковка, маркировка, транспортирование и хранение
ГОСТ 7376—89 Картон гофрированный. Общие технические условия
ГОСТ 10028—81 Висхозиметры капиллярные стеклянные. Технические условия
ГОСТ 13841—95 Ящики из гофрированного картона для химической продукции. Технические
условия
ГОСТ 14192—96 Маркировка грузов
ГОСТ 14870—77 Продукты химические. Методы определения воды
ГОСТ 17622—72 Стекло органическое техническое. Технические условия
ГОСТ 19433—88 Грузы опасные. Классификация и маркировка
ГОСТ 22001—87 Реактивы и особо чистые вещества. Метод атомно-абсорбционной спектромет
рии определения примесей химических элементов
ГОСТ 27025—86 Реактивы. Общие указания по проведению испытаний
ГОСТ Р 50766—95 Помещения чистые. Классификация. Методыаттестации. Основные требования
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных
стандартов по указателю «Национальные стандарты», составленному по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ
заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться замененным (изменен
ным) стандартом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссыпка на него,
применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
Издание официальное
★
1