ГОСТ Р 52250—2004
О
к
ончание таблицы 3
Наименование вида и последовательность проведения
испытаний
Обозначенке Обозначение
подгруппывида
испытанийиспытании
Номер пункта
Приме-
технических методов
чание
требований контроля
КАЗ А3.1
А3.2
АЗ.З
АЗ.4
Проверка внешнего вида пленки резиста5.2.2
Контроль количества микровключений в пленке резиста5.3.13
Контроль толщины пленки резиста5.3.8
Контроль контраста проявления пленки резиста5.3.14
А3.5
8.6
8.7
8.8
8.9
8.15
АЗ. 6
8.17
А3.7
АЗ.8
КА4А4.1
Контроль чувствительности пленки фоторезиста к5.3.11
актиничному световому потоку и гамма-контраста пленки
резиста
Контроль чувствительное™ пленки электронорезиста5.3.12
к потоку электронов
Контроль разрешающей способности пленки резиста 5.3.10
Контроль устойчивости пленки резиста в проявителе 5.3.15
Проверка внешнего вида потребительской тары и ее5.6.3
маркировки
8.16
8.18
8.25.1
Контроль массовой доли сухого остатка5.3.2
КС1 С1.1
С1.2
Контроль массовой доли НХД-групп в пересчете на5.3.4
сухой остаток
8.10
8.11
С1.3
КС2С2.1
KR1R1.1
R1.2
8.12
8.24
8.13
8.14
Контроль массовой доли микропримесей металлов5.3.5
Испытание на сохраняемость5.5
Контроль микронеровностей пленки резиста5.3.9
Контроль спектральной чувствительности пленки5.3.16
резиста
R1.3
Контроль теплостойкости проявленного рельефа5.3.17
пленки резиста
8.19
R1.4
8.20
Контрольспособностифоторезистноймаски5.3.18
обеспечивать защиту поверхности в травителе для
кремния
При
травле-
НИИ
смесью
концен-
триро-
ванных
кислот
Контроль адгезии пленки резиста к подложке5.3.19
R1.5
R1.6
Контроль широты процесса экспонирования пленки5.3.20
резиста
8.21
8.22
823
R1.7
KR2R2.1
Контроль линейности маски фоторезиста5.3.21
Проверка габаритных размеров тары и ее маркировки5.6
8.25.1,
8.25.2
R2.2
Испытание упаковки на прочность5.6.1
8.25.3
R2.3
8.25.4
Испытание упаковки на пониженное атмосферное5.6.1
давление
Состав квалификационных испытаний резистов конкретных марок и их последовательность уста
навливают в ТУ с учетом назначения резиста и особенностей его применения.
7.2.3.3 Отбор проб и комплектование предъявительской выборки для проведения квалификаци
онных испытаний проводит комиссия по приемке установочной партии резиста по правилам, установ
ленным ГОСТ 3885 и стандартами на резисты.
7.2.3.4 Квалификационные испытания начинают с проверки резиста по подгруппам КА1—КА4.
При получении положительных результатов проверок приступают к проверкам подругим подгруппам.
При получении отрицательных результатов по подгруппам КА1—КА4 комиссия анализирует харак
тер дефектов резиста и причины их появления и принимает решение о возможности проверки резиста
по остальным подгруппам испытаний.
Испытание по подгруппе KR1 проводят после получения положительных результатов испытаний
по подгруппе КС1.
П р и м е ч а н и е — Проба резиста, используемая для проверки его внешнего вида, для проведениядальней
ших проверок и испытаний непригодна.
7.2.3.5 При получении отрицательных результатов покакой-либо из подгрупп KR1, KR2 испытания
по другой подгруппе не прекращают, продолжая их до полного завершения.
11