ГОСТ Р 52250—2004
10 Указания по применению
10.1 Работы с резистами должны проводиться только в чистых помещениях класса чистоты не
ниже Р5 по ГОСТ Р 50766 при следующих условиях окружающей среды:
- температуре (20
±
5) вС;
- относительной влажности 45 % — 60 %;
- неактимичмом освещении с яркостью, устанавливаемой в ТУ.
10.2 При работе с резистом следует предохранять его от попадания влаги, твердых частиц идругих
загрязнений.
10.3 В ТУ на конкретный резист должны быть указаны:
- порядок подготовки резиста к использованию (необходимость фильтрования, размер фильтров
для получения пленки с допустимой дефектностью, допустимое время хранения отфильтрованного
резиста, необходимость повторного фильтрования оставшегося резиста и др.);
- способы и режимы формирования пленки заданной толщины (зависимость толщины пленки
резиста от скорости вращения центрифуги при постоянной вязкости, зависимость толщины пленки
резиста от вязкости при постоянной скорости вращения центрифуги):
- правила разбавления резиста для получения более тонких пленок, состав разбавителя, если он
не поставляется в комплекте с резистом, условия разбавления (с конкретным примером);
- условия и режимы сушки пленки резиста после операции нанесения резиста;
- требования к источнику излучения (вид источника, спектральный состав излучения, уровень
энергии экспонирования);
- правила подбора оптимального времени экспонирования (с конкретным примером);
- состав проявителя, рекомендации по его приготовлению, если он не поставляется в комплекте с
резистом, условия ивремя проявления пленки (с конкретным примером),правила подбора оптимального
режима проявления, срок годности проявителя, порядок проверки качества проявления;
- условия и режимы сушки (задубливания) пленки резиста после операции проявления;
- составдля удаления пленки резиста, способ удаления, условия удаления (время итемпература).
11 Гарантии изготовителя
11.1 Изготовитель гарантирует соответствие резиста требованиям настоящего стандарта и ТУ при
соблюдении потребителем условий транспортирования, хранения и применения, установленных в
настоящем стандарте и ТУ.
11.2 Гарантийный срок хранения резиста — не менее 6 мес. Срок гарантии исчисляют с даты
изготовления, указываемой в паспорте и этикетке.
По истечении гарантийного срока хранениядля оценки пригодности резиста следует проводить его
проверку в объеме приемосдаточных испытаний.
27