ГОСТ Р 52250—2004
отклонению от номинального значения, указанного в паспорте на фотошаблон-тест, и в строке, номер
которой соответствует значению минимальной ширины воспроизводимого элемента, указанного в ТУ на
конкретный резист.
Контроль выполнения размеров проводят в соответствии с технологической инструкцией на фото
шаблон-тест.
8.16.1.4Результаты испытания считают положительными, если форма и размеры элементов
соответствуют устанавливаемым в ТУ.
8.16.2 Контроль разрешающей способности пленки электронорезиста
8.16.2.1 Контроль разрешающей способности пленки электронорезиста проводят методом, уста
навливаемым в ТУ.
8.16.2.2 Результаты испытания считают положительными, если форма и размеры элементов
соответствуют устанавливаемым в ТУ.
8.17 Контроль чувствительности пленки элоктронорезиста к потоку элоктронов
8.17.1 Чувствительность пленки электронорезиста к потоку электронов определяют методом,
устанавливаемым в ТУ.
8.17.2 Результаты испытания считают положительными, если чувствительность пленки электро
норезиста соответствует устанавливаемой в ТУ.
8.18 Контроль устойчивости плонки резиста в проявителе
8.18.1 Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе
Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе оценивают временем полного растворения неэкс
понированной пленки фоторезиста в процессе выдержки ее в проявителе.
8.18.1.1 Применяемое оборудование (установку экспонирования, сушильный шкаф, термостати-
рующее устройство), средства измерения, материалы и реактивы указывают в ТУ.
8.18.1.2 Проведение испытаний
Подготовленные согласно 8.1.6 пластины экспонируют на установке экспонирования через фото
шаблон-тест согласно инструкции по эксплуатации.
Проэкспонированные пластины, количество которых указывают в ТУ. помещают в ванну с раство
ром проявителя, включают секундомер и выдерживаютдо полного растворения пленки фоторезиста.
Химический состав проявителя, его температуру и количество указывают в ТУ.
За результат испытаний принимают среднеарифметическое значение трех параллельных опреде
лений времени полного растворения пленки фоторезиста с точностью, устанавливаемой в ТУ.
8.18.1.3 Результаты испытания считают положительными, если устойчивость пленки фоторезиста
в проявителе соответствует устанавливаемой в ТУ.
8.18.2 Устойчивость пленки электронорезиста в проявителе
Устойчивость пленки электронорезиста в проявителе определяют методом, устанавливаемым в ТУ.
8.18.2.1 Результаты испытаний считают положительными, если устойчивость пленки электроно
резиста в проявителе соответствует устанавливаемой в ТУ.
8.19 Контроль теплостойкости проявленного рельефа пленки резиста
Теплостойкость проявленного рельефа оценивают по сохранению конфигурации элементов изо
бражения после выдержки пластины с проявленным рельефом при заданной температуре в течение
определенного времени.
8.19.1 Применяемоеоборудование(микроскоп, сушильный шкаф), средства измеренияуказывают вТУ.
8.19.2 Проведение испытания
Подготовленные пластины со сформированным в пленке фоторезиста изображением фотошабло
на-теста помещают горизонтально в нагретый сушильный шкаф.
Методику подготовкипластин, их количество, температуру нагрева и время выдержки указывают вТУ.
Пластины извлекают из сушильного шкафа, дают им остыть до комнатной температуры и под
микроскопом при увеличении, указываемом в ТУ. рассматривают группу элементов прямоугольной
формы, находящихся на поле фрагмента, указываемого в ТУ.
8.19.3 Результаты испытания считают положительными, если теплостойкость проявленного ре
льефа пленки фоторезиста соответствует указываемой в ТУ.
8.20 Контроль способности фоторозистной маски обеспечивать защиту поверхности под
ложки в условиях глубинного травления кремния в кислотном травителе
8.20.1Применяемое оборудование (установка совмещения и экспонирования, установка для
травления барботированием, сушильный шкаф, термостатирующее устройство), средства измерения,
материалы и реактивы указывают в ТУ.
24